日本カノマックス(株)

Suita-shi,  Osaka 
Japan
http://www.kanomax.co.jp
  • 小間番号3621

従来のコア技術である流体計測と粒子計測に加え、液中での粒子計測および質量分析を新たなソリューションとして提供

■スキャニングTPC

従来の気中モニタリングソリューションに加えて、新たに開発した超純水用のオンラインパーティクルカウンター スキャニングTPCを展示いたします。半導体製造における高密度集積開発を強力にサポートすべく業界で最小の10nmの粒子が計測可能で、10nm-30nmの中からユーザーが選択した3つの計測チャネルを備えています。

スキャニングTPCの仕組みについて:
特許取得済みの独自のネブライザと、可変粒径選択能を有する凝縮粒子カウンタ(CPC)を内蔵しています。ネブライザでは多様な粒径のUPW水滴を発生させ、大きな水滴を内部インパクタにより除去します。次に小さな水滴中の水分はCPCで検出可能な粒径に満たない微小な不揮発残留粒子を残して蒸発します。CPCは、検出限界より、小さな不揮発残留粒子はカウントせず、10nm-30nmのUPW中の超微粒子のみを計数します。またCPC内の粒径選択のしきい値を変更することで、様々な粒径の粒子をカウントする設定が可能となります。

■infiTOF
質量分析ソリューションでは、infiTOFを展示しております。小型化と高い分析精度を実現した質量分析計で国内外の大手企業様からもご評価をいただいております。

infiTOFの仕組みについて:
大阪大学で開発されたマルチターン方式を採用しております。マルチターン方式とは同一飛行空間を複数回周回させることで長い飛行距離を得て、高質量分解能を得ることができる分析部です。このマルチターンは20cm x 20cmと非常にコンパクトな設計となっております。従ってinfiTOFは小型で高分解能を実現した飛行時間型質量分析計です。半導体に関してはプロセスガスのモニタリングおよび不純物、未知の反応生成物の測定に活用されております。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other
上記以外の分野/Other categories
精密機器