Plan Optik AG

Elsoff, 
Germany
http://www.planoptik.com
  • 小間番号1809-1


components for fluidics and micro reaction technology

As a leading supplier in the fields of fluidics and microreaction technology, Little Things Factory GmbH develops and produces high-quality components and systems solutions in glass, quartz and glass-silicon composite materials for a variety of sectors. Typical applications in the fields of life science, chemistry and research and development are lab-on-chip products as well as microreactors of the kind required in the fields of diagnostics, medicine distribution and implantology or the manufacture of special chemicals.

Little Things Factory has many years of expert knowledge in the design and application of optical, electronic and chemical functions within a wafer as the basis for microstructured processes. The company has thus become a sought-after partner for technology concerns, research institutions and universities alike. 


 プレスリリース

  • 半導体ウエハの製造には多種多様な工程があり、それぞれ専用のツールが必要です。 大部分のツールは、標準的な直径のウエハのみを加工できるようになっていますが、弊社のプロセス・キャリアを利用することにより、通常のツールで、標準より小さい、あるいは異形の ウエハやサブストレートの加工を可能にします。表面加工済のシリコンウエハ、ガラスキャリアに貼付済の未加工のシリコンウエハ、様々な状態のウエハに対応可能です。プロセス・キャリアは多様な組み合わせが可能で、複数の小型サブストレートを処理することもでき、半導体、MEMS関連の多種多様な工程で使用することができます。高い耐熱性、化学処理耐性、品質安定性も高く、シリコンを始めとするその他材料の膨張率に対応することもできます。表面の貼付性も付加可能です。

  •  PlanOptik社では、レーザー・パターニングによる構造構築技術を実用化しました。 これにより、ガラス、クォーツ、シリコンのパターンニングがより高精度でできるようになりました。 レーザー・パターニングは20ミクロンまでの微細加工に利用されています。 異なる層のパターン構成には、異なるプロセスが必要で、それぞれの層を正確に積み上げることが重要でしたが、レーザーパターニングでは異なる層を一度に加工することができるため、各層のアライメントが不必要で、製品精度が格段に向上します。

     湿式化学エッチングまたはサンドブラストのような他のパターニング技術と比較して、レーザー・パターニングは高いアスペクト比を可能にし、より高精度、かつ非常に滑らかな側縁を形成します。 レーザー・パターニングは、.dxf、.gdsまたは.dwgなどのレイアウト・ファイルを直接反映でき、マスク不要のため、迅速、安価なプロトタイプの作成を可能にします。

  • TSVウエハの3Dウエハレベルパッケージには、非常に薄い半導体基板を必要とします。 ウエハの薄化が進む中、標準的な半導体製造過程には、ウエハのキャリア基板が必要になります。

    PlanOptik社は、ガラスとシリコンから極薄ウエハの取り扱いに最適なハイエンド・キャリアを提供しています。 耐熱性、化学処理耐性、高い品質安定性、半導体素材に合わせた膨張率など、製造過程に必要な仕様に対応します。シリコンとガリウムヒ素ウエハ用のキャリアも提供しています。独自の両面研磨技術によりつくられる、高い表面研磨品質、最高20回も再利用されるキャリアウエハのバックトラッキングを簡単にするためのQRコードを含む、独自のレーザーマーキングは、キャリア・ウエハの管理を簡便化します。ガラス・キャリアは、強化ガラスにすることも可能です。 無アルカリガラスも提供しています。


 出展製品

  • キャリア・ウエハ
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  • キャリアウエハは薄い半導体ウエハの処理のためのキャリア基板です。この キャリアは、精巧な半導体ウエハ(例:シリコンとヒ化ガリウム)の安全な取扱いを可能にします。PlanOptikでは高精度基板の材料となる特別なガラスを使い、耐熱性、化学処理耐性に優れた安定性を持つキャリア・ウエハを製造しています。

  • クォーツ・ウエハ
    ...

  • 高純度のアモルファス二酸化ケイ素から作られます。 UV、VISとIR波長領域での伝送が非常によく、熱膨張率、OH 基が非常に低いため、UV、VISとIRでほぼすべてのアプリケーションに対応できます。 ― 特に高温でのアプリケーションについては 最適です。 この素材で作るウエハには、気泡、蛍光体などの不純物はほぼ含まれません。

  • パッケージング ウエハ
    ...

  • 単品のオーダーメイドからガラス、クォーツ、シリコン、またはこれらの複合材料を使っている大規模なシリーズまで製造します。 直径50 – 300mmの大きさで各種サイズに対応し、安定した厚み、低い平坦度で、光学キャビティ、コーティング、穴加工など、個々の製品仕様に対応します。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, 半導体/Semiconductor