Process Technology

Mentor,  OH 
United States
http://www.process-technology.com
  • 小間番号2428

プロセステクノロジー社(Process Technology)は米国にある一般産業用ヒーター、半導体用ヒーターを製造販売しております。国内外大手洗浄機メーカー、デバイスメーカーに多数実績があります。


 出展製品

  • TIHテフロンインライン薬液ヒーター
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  • 電熱線をPTFE被覆し、ボディをフッ素樹脂で製作しているインライン薬液ヒーター フッ酸を含むあらゆる薬液の加熱を180℃まで可能 特許パージ機能によりPTFEの弱点である薬液浸透性からエレメントを保護 各種熱電対、継手種類・位置、カスタムオプションによる柔軟な設計が可能。 過去数千本規模の出荷実績 CE, UL, Semi S2適合品。
  • Lufran™超純水加熱ヒーター
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  • PTFE被覆電熱線を使用し、大型のPVDF被覆ヒーターカラム、温調、各種制御、外部制御を内臓した独立型ヒーターユニット 耐久寿命は10年以上を誇り、石英と比べランプ交換などのダウンタイム、コストを大幅削減 PLCのプログラムによる独自特許DAC™制御を標準装備し、急激な流量・温度変化への追従性と±0.3℃での温調維持が可能 外部通信はRS232, Ethernetはじめ各種カスタム対応可能。 独自のレシピに基づいた特殊仕様も製作可。 CE, UL, SemiS2 /S3準拠
  • Frontier™溶剤加熱用インラインヒーター
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  • 接液面をSUS316EP(電解研磨)、フッ素樹脂で構成し、ウェーハ洗浄可能な清浄度を誇ります。 発熱部はマニフォールド外側へ配置、間接過熱により安全な加熱が可能 防爆対応(UL 823、UL 499、CSA C22.2、CE Class 1Div. 2のハザードエリアで使用可能) 3-36kW、流量に応じた選択構成
  • SHB(溶剤加熱) SHC(薬液加熱) 小型インラインヒーター
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  • 小型インラインヒーターのため、小規模なプロセス要求やチャンバー手前のプレヒーティングなどに最適な溶剤・薬液ヒーター SHB:接液面SUS316EP、フッ素樹脂 SHC:接液面PFA 250-2000W 二重管継手などの多彩なオプションでカスタムメイド可能 要望に応じサーミスタを使用した自己制御型のヒーターエレメントを搭載、従来のエレメントと違い最大温度以上に発熱せず安全な加熱が可能。
  • LTFHフィルターハウジング
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  • テフロン製のヒーターハウジング(カートリッジは除く) 特に高温仕様など、これまで高価ながらユニット全体を使い捨てしていた薬液フィルタに代わり、本機を使用することでエレメントだけの交換を可能にし、大きくコストダウンに貢献します。 交換は配管系統からはずす必要がなく、フィルター封入部のみの交換が可能。 各種フィルタ径、サイズに対応。継手や取り付け向きなども柔軟に対応。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor