日本カノマックス

Suita-shi,  Osaka 
Japan
http://www.kanomax.co.jp
  • 小間番号3424

 

New!!

世界初の最小可測粒径10 nmを達成した「走査型液中ナノパーティクルカウンター」

 

<主な展示商品ラインアップ>

○ 超純水の粒子汚染を高感度で常時モニタリングできるパーティクルカウンター

○ 粒径分布の高分解能測定が可能な液中ナノパーテクルサイザーシステム

○ 各種ガスの混合比、二次生成物、反応過程をモニタリングできる質量分析計

○ 粒子、温湿度、差圧など、様々な空気環境条件を常時測定できるモニタリングシステム 他

 

半導体製造の品質管理をサポートする精密計測ソリューションをご提案。

皆さまのご来場を心よりお待ち申し上げております。

 


 

参加者募集中!! 日本カノマックス主催セミナー

『超純水とCMP スラリーにおける極小ナノ粒子モニタリング技術について(仮)』

 

○ 日時:12月14日(水)17:30~19:30(受付17:15~)

 場所:TFTビル902研究室(東京ビッグサイトより徒歩5分)

 費用:無料

 定員:先着25名様

 概要

    セミナーでは本関連計測技術の第一人者で製品開発者でもあるDr.David Blackford により

    測定技術やアプリケーションのご紹介、並びにデモンストレーションを行う予定にしております。

 参加方法:以下URLより受付中(お申し込み締切/12月5日(月)17:00まで)

  https://ssl.form-mailer.jp/fms/31ce602a472229

 


 プレスリリース

  • 日本カノマックス株式会社(本社:大阪府吹田市、代表取締役会長 兼 CEO・加野稔)は、世界初の最小可測粒径10 nmを達成した「走査型液中ナノパーティクルカウンター ScanningTPC MODEL9010」をはじめ関連商品を、2016年10月3日(月)より販売を開始いたしました。

     

    ●開発背景と概要

    半導体業界は、近年の著しいデバイスの小型化と高集積化に伴い、その製造工程で用いられる超純水はより一層の高純度化が要求されており、水質管理基準が益々厳しさを増しています。高純度の超純水中に僅かに存在する微粒子や不揮発性の不純物(蒸発残渣)は歩留り悪化要因となるため、不純物濃度レベルを極限まで低減するために、様々な計測技術が開発され検出精度の向上が行われてきました。微粒子の計測に関しては、これまでの光散乱法では最小可測粒径は20 nm(0.02 μm)が限界と言われていましたが、このたび弊社は全く異なる新技術によって、世界で初めて最小粒径感度10 nm(0.01 μm)を達成しました。この技術は、サンプルの超純水を高精度に噴霧する特許取得の独創的なネブライザーと、凝縮粒子カウンター(CPC)を組み合わせるというKanomax FMT, Inc.とCT Associates社との共同開発により誕生したものです。既にSEMIガイドラインに推奨測定方法*1として記載されている、世界最先端の計測技術です。

     

    New!! ScanningTPC MODEL9010

    走査型液中ナノパーティクルカウンター

     

    1.世界初の最小可測粒径10 nmを達成

    光散乱法を用いた従来の光学式計測における粒子の屈折率や形状の違いが検出感度に影響を与えるデメリットを払拭するとともに、世界初の最小可測粒径10 nm(0.01 μm)を達成しました。

    2.SEMIガイドライン推奨測定方法と、研究分野第一人者による開発

    SEMIガイドラインの推奨測定方法として認定された測定方法です。開発者であるKanomax FMT社のDavid Blackford氏は本関連計測技術の第一人者であり、その革新的な技術でこれまでに各種米国特許を取得*2および出願中です。

    3.持ち運びに便利な小型モデル

    高精度な計測器でありながら、わずか16.1kgと軽量かつポータブルサイズのため、場所を選ばずに設置できます。さらにメンテナンスも最小限で実施出来るように設計されています。

     

    *1SEMI C79 “Guide to Evaluate the Efficacy of Sub-15 nm Filters used in Ultrapure Water (UPW) Distribution Systems.”SEMI C93 “Guide for Determining the Quality of Ion Exchanged Resin used in Polish Applications of Ultrapure Water (UPW)Systems.”
    
    *2特許第8,272,253号および第8,573,034号がCTAに交付され、Kanomaxにライセンスを受けた。Kanomaxは、ScanningTPCに含まれる技術について米国および国際特許を追加出願した。特許第7,852,465号がKanomaxに交付された。

 出展製品

  • 走査型液中ナノパーティクルカウンター ScanningTPC Model 9010
    世界初の最小可測粒径10 nmを達成。超純水の粒子汚染を高感度で常時モニタリングできる液中パーティクルカウンター。...

  •  ■主な特徴

    ・世界初の最小粒径感度10 nmを達成

    光散乱法を用いた従来の光学式計測における粒子の屈折率や形状の違いが検出感度に影響を与えるデメリットを払拭するとともに、世界で初めて最小可測粒径10 nm(0.01 μm)を達成しました。

     

    ・SEMIガイドライン推奨測定方法と、研究分野第一人者による開発

    SEMIガイドラインの推奨測定方法として認定された測定方法です。開発者であるKanomax FMT社のDavid Blackford氏は本エアロゾル関連計測技術の第一人者であり、その革新的な技術でこれまでに各種米国特許を取得および出願中です。

     

    ・持ち運びに便利な小型モデル

    高精度な計測器でありながら、わずか16.1kgと軽量かつポータブルサイズのため、場所を選ばずに設置できます。さらにメンテナンスも最小限で実施出来るように設計されています。

     

    ・測定粒径は10~20 nm間で5 nm毎に設定可能

    例えばチャネル10 nm を選択時、粒径10 nm 以上の測定が可能です。(上限100 nm 程度) 

  • 液体ナノパーティクルサイザー(LNS)システム
    液中に浮遊する粒子の粒径分布を高分解能で測定。...

  • ■主な特徴

    ・相対濃度ではなく、実際の濃度を測定。

     

    ・粒径分布を高分解能で測定(周波数が10倍になるごとに 64チャネル)、5 nmから500 nmまでの広範囲な粒径測定が可能。

     

    ・サンプルの導入度を調整するための修正は不要。

     

    ・サンプルの粘性、温度、粒子物質、粒子形状、および粒子の表面特性に影響を受けない測定結果が取得可能。

     

    ・離散粒子の分粒・計数を行う。

     

    ・最小限のサンプル生成で、高速測定(2分間)が可能。

     

    ・粒径30 nm未満のコロイド粒子の測定に最適。30 nmでは溶存残留物がサンプルに影響を及ぼすことがある。

     

    ・長期間の安定稼働が可能。

     

    ・粒子間の相互作用による影響を受けない。

     

    ・複雑なインバージョン手順やデータ分析を行う必要がない。

     

  • infiTOF-UHV
    高分解能マルチターン飛行時間型質量分析装置。小型・軽量・省電力で場所を選ばない。...

  • ■主な特徴

    ・コンパクトボディ

    高性能化するために直線的に長い飛行距離を確保する必要のある「飛行時間型」であるにもかかわらず、飛行経路を直線ではなく周回軌道=マルチターンとし、高い性能をコンパクトボディに凝縮しました。

    また、排気系など全ての機構が一つの筺体に収められており、設置場所を選びません。

     

    ・高分解能

    マルチターン飛行時間型を採用したことにより、電子イオン化(EI)低分子領域の分析において必要十分な分解能30,000(FWHM)を達成しました。

    これにより、今まで普及機や小型機では不可能であった、精密質量による構造解析が可能となりました。

     

    ・低質量域測定

    当社独自開発のデジタイザにより、他社商品では不可能な低質量域の測定が可能です。

    水素、ヘリウムのような低質量ガスおよびその同位体を精密質量で測定することが可能です。

  • ファシリティモニタリングプラットフォーム e-Scan
    多種類の測定機器データを収集しウェブブラウザやアプリで閲覧・分析・レポート作成。...

  • ■主な特徴

    ・いつでも、どこからでもアクセスが可能

    ウェブベースのソフトウェアのため、あらゆる場所からアクセスできます。

    モバイルアプリを使ってスマートフォンからもアクセス可能です。

     

    ・見やすく使いやすいインターフェース

    測定値の時系列変化がひとめで分かる折れ線グラフ(トレンドチャート)や測定場所を一覧できるマップ機能など、データ管理に便利な機能が多彩です。レポート作成も手間なく簡単に行えます。

     

    ・クラウド対応でコストを抑え導入可能

    クラウドでの運用を選択すれば、初期費用を抑えることができ、システムの立ち上げもスムーズです。

     

    ・あらゆる用途に対応できる柔軟性

    ユーザー作成によるレポート追加や、指定日数による自動アーカイブ機能、外部アラーム表示へのリンクも可能です。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other