小林無線工業

由利本荘市,  秋田県 
Japan
  • 小間番号3837


☆超音波振動を用いた液体微粒化☆霧化による有機薄膜作成や膜表面の平滑化,成膜の低コスト化にも繋がる次世代のツールです!

 

【新製品】 超音波霧化ノズル「SonicJet

 

 当社ではこれまで培ってきた半導体製造・機械加工技術に基づき,この度,超音波霧化ノズル「Sonic-Jet」を発表いたしました.本展示会では,超音波霧化ノズル「Sonic-Jet」に加え,「Sonic-Jet」を搭載した成膜用塗布ユニットも展示いたします.

 近年,大型樹脂部品などに対する有機薄膜作成に関するニーズが増加しておりますが,樹脂部品を対象とした薄膜作成には蒸着・スパッタのような真空環境を必要としない,大気中での成膜技術が必要になると考えられます.本装置は超音波振動を用いた液粒の生成メカニズルによる霧化塗布装置で,粒径の揃った微細な霧を効率的に生成可能であること,高い指向性を有すること,霧化させる液体の誘電率に依存しないという特徴を有しています.

 

●粒径の揃った微細な霧

 本装置は液膜に超音波振動を与えることで液粒を発生させるため,粒径の揃った微細な霧を発生させることが可能です.このため,大気環境下での塗布による薄膜生成に有望な技術と考えられます.本装置を用いた液滴の平均粒径は40kHzタイプで約45μm,120kHzタイプで約10μm(いずれも純水の場合)程度です.

 

●高い指向性

 霧化された液体を拡散させず一方向に噴くことができるため,薄膜生成工程においてスピンコータを用いた手法から置き換えることで,成膜に必要な液剤の量を減らすことができ,生産コストの低減が見込まれます.

 

●誘電率に依存しない

 超音波霧化は液剤を振動エネルギーにより霧化するため,液体の導電性に依らず霧化することができます.有機薄膜の作成や薄膜の表面平滑化において,導電率の低い液体でも安定的に霧化することが可能です.

 

●安定した連続霧化を可能とするインテリジェントアンプ

 センサレスで共振周波数の変動を制御するソフトウエアPLLを搭載し,常に最適な振動振幅により長時間安定した連続霧化が可能です.

 

●多様なニーズに応える塗布システム

 超音波霧化による薄膜作成をターゲットに霧化ノズルだけでなく,駆動用アンプ・シリンジポンプに加え,塗布ステージもセットで提供可能です.また,生体試料の前処理等のバイオ分野各種研究試験用途等、様々なニーズにお応えするため,各種カスタマイズについてもご相談ください.

 

●秋田大学・秋田県産業技術センターとの共同開発

 本装置は「高速・高精度位置決めアクチュエータ」技術の応用として,秋田大学・秋田県産業技術センターと産学官連携で開発しました.

 

●その他仕様

 ・塗布可能液剤:粘度10cP以下,沸点50℃以上,表面張力35mN/m以上

  (※これ以外でも確認試験の実施可能,随時対応いたします)

 ・液滴粒径(純水):約45μm(40kHzタイプ),約10μm(120kHzタイプ)

 ・霧化塗布効率化について,エアーによるガイドにより効率化が可能:霧化後に浮揚する液滴の凝集を低減させ対向面に効率的に塗布させるために,霧化液粒の周囲をエアーで整流ガイドすることで,液粒の移動速度向上と対向面に到達する液粒の平均粒径の低減などが可能

 

●アプリケーション例

 ・有機溶剤の霧化塗布,表面平滑化への活用

 ・スピンコータによる薄膜作成工程の置き換えによる低コスト化

 ・湾曲した広い面への塗布による有機半導体(EL,太陽電池など)作成ツールとして

 ・医療,バイオ分野(生体試料の前処理など)

 ・各種研究試験用途

 ・食品加工分野

 ・その他,大気中成膜,塗布,霧化に関するご要望にお応えします.

 

 ※本製品の開発の一部は補助事業(あきた企業応援ファンド)による成果です.

 

 


 プレスリリース

  • 小林無線工業株式会社(秋田県由利本荘市)は、これまで培ってきた半導体製造・機械加工技術に基づき、超音波霧化ノズル「Sonic-Jet」を開発し、この度 SEMICON JAPAN 2016 (12/14-16) に初出展いたします。ブースでは霧化の実演に加え、成膜用塗布ユニットも併せて展示いたします。各種相談にも対応いたしますのでぜひお越しください!

 出展製品

  • 超音波霧化ノズル「Sonic-Jet」
    当社ではこれまで培ってきた半導体製造・機械加工技術に基づき超音波霧化ノズル「Sonic-Jet」を開発し、この度出展いたします。また、本展示会では「Sonic-Jet」に加え同製品を搭載した成膜用塗布ユニットも展示いたします。...

  • 【新製品】 超音波霧化ノズル「SonicJet

     当社ではこれまで培ってきた半導体製造・機械加工技術に基づき,この度,超音波霧化ノズル「Sonic-Jet」を発表いたしました.本展示会では,超音波霧化ノズル「Sonic-Jet」に加え,「Sonic-Jet」を搭載した成膜用塗布ユニットも展示いたします.

     近年,大型樹脂部品などに対する有機薄膜作成に関するニーズが増加しておりますが,樹脂部品を対象とした薄膜作成には蒸着・スパッタのような真空環境を必要としない,大気中での成膜技術が必要になると考えられます.本装置は超音波振動を用いた液粒の生成メカニズルによる霧化塗布装置で,粒径の揃った微細な霧を高効率で生成可能であること,高い指向性を有すること,霧化させる液体の誘電率に依存しないという特徴を有しています.

    ●粒径の揃った微細な霧

     本装置は液膜に超音波振動を与えることで液粒を発生させるため,粒径の揃った微細な霧を発生させることが可能です.このため,大気環境下での塗布による薄膜生成に有望な技術と考えられます.本装置を用いた液滴の平均粒径は40kHzタイプで約45μm,120kHzタイプで約10μm(いずれも純水の場合)程度です.

    ●高い指向性

     霧化された液体を拡散させず一方向に噴くことができるため,薄膜生成工程においてスピンコータを用いた手法から置き換えることで,成膜に必要な液剤の量を減らすことができ,生産コストの低減が見込まれます.

    ●誘電率に依存しない

     超音波霧化は液剤を振動エネルギーにより霧化するため,液体の導電性に依らず霧化することができます.有機薄膜の作成や薄膜の表面平滑化において,導電率の低い液体でも安定的に霧化することが可能です.

    ●安定した連続霧化を可能とするインテリジェントアンプ

     センサレスで共振周波数の変動を制御するソフトウエアPLLを搭載し,常に最適な振動振幅により長時間安定した連続霧化が可能です.

    ●多様なニーズに応える塗布システム

     超音波霧化による薄膜作成をターゲットに霧化ノズルだけでなく,駆動用アンプ・シリンジポンプに加え,塗布ステージもセットで提供可能です.また,生体試料の前処理等のバイオ分野や各種研究試験用途等、様々なニーズにお応えするため,各種カスタマイズについてもご相談ください.

    ●秋田大学・秋田県産業技術センターとの共同開発

     本装置は「高速・高精度位置決めアクチュエータ」技術の応用として,秋田大学・秋田県産業技術センターと産学官連携で開発しました.

    ●その他仕様

     ・塗布可能液剤:粘度10cP以下,沸点50℃以上,表面張力35mN/m以上

      (※これ以外でも確認試験の実施可能,随時対応いたします)

     ・液滴粒径(純水):約45μm(40kHzタイプ),約10μm(120kHzタイプ)

     ・霧化塗布効率化について,エアーによるガイドにより効率化が可能:霧化後に浮揚する液滴の凝集を低減させ対向面に効率的に塗布させるために,霧化液粒の周囲をエアーで整流ガイドすることで,液粒の移動速度向上と対向面に到達する液粒の平均粒径の低減などが可能

    ●アプリケーション例

     ・有機溶剤の霧化塗布,表面平滑化への活用

     ・スピンコータによる薄膜作成工程の置き換えによる低コスト化

     ・湾曲した広い面への塗布による有機半導体(EL,太陽電池など)作成ツールとして

     ・医療,バイオ分野(生体試料の前処理など)

     ・各種研究試験用途

     ・食品加工分野

     ・その他,大気中成膜,塗布,霧化に関するご要望にお応えします.

     ※本製品の開発の一部は補助事業(あきた企業応援ファンド)による成果です.

     

     


 追加情報

初出展/New Exhibitor
Yes
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other
上記以外の分野/Other categories
大気中成膜,塗布,霧化,表面平滑化,有機半導体(EL,太陽電池など),
 医療・バイオ分野,研究試験用途,食品加工分野