CHYI DING Technologies Co., Ltd.

新竹県, 
Taiwan
http://www.chd-tech.com.tw
  • 小間番号1038


お客様のために完璧を追求。顧客至上がモットー。 気流を清浄する優れた工程。

奇鼎科技は空調洗浄、微細汚染除去観測および省エネ工程に関する精密機器カスタマイズを専門に扱うメーカーです。

主なサービス内容は、空調洗浄、温湿度管理、空気中の分子状化学汚染物質(AMC)に関連する製造工程周辺設備、省エネルギーコンサルティング、クリーン医療サービスなどの、製造工程に関連する業務です。

当社は、国内大型工場のクリーンルーム施工により創業し、創新・研究開発の精神を主軸としています。2006年に「設備研究開発部」を創設し、システムエンジニアリングの精神を維持しています。空気中の分子状化学汚染物質の除去、オンライン観測などのカスタマイズされた精密機器を提供しています。先進的な製造環境のボトルネックを突破し、お客様のために、製造環境の空気品質の制御・観測を行うことで、ハイテク工場の製造工程における歩留りを大きく向上させます。

2012年に「クリーンルーム外気空調ボックス省エネルギー水洗装置」がSBIR卓越研発成果奨を獲得しました。また、台湾IBM「省エネルギーサービス」の唯一の適格サプライヤーとなっています。国を超え、整理された角度から、グローバルな省エネコンサルティング/設計/施工サービスを提供しています。


 出展製品

  • 精密恒溫恒濕機(Thermal Clean Unit, TCU)
    パネル製造、ウェハー工場、ICの封止等の検査工場で精密溫湿度制御を提供し、露光機と塗布・現像設備の良品率アップを促進する。 ...

  • 仕様

    清浄度制御:ISO Class 1
    •温度制御精度: ±0.1℃ ~ ±0.01℃
    •湿度制御精度:±2%RH  ~ ±1%RH
    •装置に内蔵された温湿度プロファイル資料
    警報装置(アラーム)
    遠隔監視制御
    自動防御機能

    応用種類

    半導製造
    Ÿフラットパネルディスプレイ(FPD
    精密機器工業加工  Ÿ
    精密測量  Ÿ
    学術研究

    •パネル製造Ÿ
    •カラーフィルター
    •ウェハー製造と封止検査

    •RGBレジスト塗布Ÿ
    •露光現像
    •Ÿレンズ研削
    •レーザー加工Ÿ
    •幾何学の寸法測量

     

  • SRU有機溶剤回収設備(Solvent Recycle Unit, SRU)
    Coatingのプロセスで、塗布ノズルを常に洗浄しなければならないため、Coater VCD exhaustの気体を利用。熱交換器と純化装置により、その中のsolventを収集し、液体貯蔵槽に保管します。純化後のsolventをwasherで塗布ノズル上に吹きかけ、洗浄を行います。 ...

  • 仕様

    有機気体を回収し、有効なフォトレジスト剤を収集
    新液の使用量を大幅に削減
    もっとも合理的・実用的な管路系統設計
    Solvent回収率60%以上
    設備保証期間:非人為的な原因の場合、1年間
    Up time >99%

     (設備がshut downしても本体の運転に影響しない)

     

    工場への要求

    条件説明

    PCW水温

    入口:12-20℃(各工場の規格の要求によります)

    PCW流量

    50-60 LPM(各工場の規格の要求によります)

    電力規格

    1ψ/220V/60H

    電力消費量

    2.8A

    電力消費量

    1/2"

    消耗材費用(RMB/Year)

    40,000

    設備仕様

    寸法

    1200*1600*18000mm(実際のサイズはdry pumpの仕様とお客様のオプション項目により異なります)

    運転時騒音

    70 dB(A)

    処理風量

    5 CMM

    設備圧力差

    750Pa

    回収能力(計算式を提供)

    ﹥50%

    フィルターエレメント仕様

    0.5um

    モレキュラーシーブ仕様

    8*12 mesh

    安全措置

    1.solvent tank圧力監視・圧力放出による保護

    2.液漏れ検測

    3.ブザー警報/ランプによる運転状態表示

  • 恒温恒湿微汚染除去設備(Thermal AMC Unit, TAU)
    •製品エッチングと現像の良品率を向上させる •露光装置鏡面の曇りを防止することができ、機器の寿命の延長ができる。 •装置内部の腐食を防止する。(特に銅管類の材料) •フォトリソグラフィに一年間の使用後に対する: 1. 鏡面の曇りの防止 2.照明器具に対する 一定照度継続と寿命の延長...

  • 仕様
    •清浄度制御: ISO Class 4
    温度制御精度:±0.5℃ ~ ±0.3℃ 
    •湿度制御精度:±5%RH ~ ±3%RH 
    •飛散汚染物質分子除去:>80% in Main AMC
    •装置に内蔵された温湿度プロファイル資料
    •警報装置(アラーム)
    •遠隔監視制御
    •自動防御
    応用種類
    •半導製造
    •フラットパネルディスプレイ(FPD)

    •パネル製造Ÿ

    カラーフィルタ

    Ÿウェハー製造と封止検査

    •RGBレジスト塗布

    •露光現像

    •露光装置鏡面の曇りの防止

     

    TAU-03

  • 極小気体状微細汚染物オンライン分析器(μGC)
    μGCは、当社が開発した、ポータブルな、極小気体状汚染物オンライン分析器です。精巧でシンプルなスタイル。環境中の微細汚染物の成分や、汚染の程度をすばやく測定することができます。操作が簡単で、すばやく精確な測定が可能です。また、数値を直接読み取ることができます。生産能力の向上、管理システムの構築、そして安全衛生のための最重要ツールです。...

  • 仕様
    • 快速オンライン分析
    • 優れた機能(種類判別可能)
    • 高敏感度(検出限界が低い)
    • 高い精確性
    • ポータブル
    • カスタム可能
    • 合理的な価格
    使用に適した種類

    半導体工場、オプトエレクトロニクス工場およびその他のハイテク工場、または従来型工業の機械または製造工程の周辺環境空気品質。また、大気品質、室内空気品質などの測定に使用可能。

     

    機器

    GCFID/GC-MS

    ppbRAE

    μGC

    By CHD tech

    現場における連続サンプリング・リアルタイム分析

    No

    手動でサンプリングし、実験室で処理・分析を行う

    Yes

    Yes

    検出限界

    <1 ppb(個別)

    1 ppb(tVOCs)

    < 0.5 ppb(個別)

    種別解析能力

    Yes

    No

    総VOCのみ

    Yes

    検出原理

    GC+MS

    PID

    特殊分離管+超小型検出器

    持ち運び可能性

    No

    Yes

    Yes

    操作の簡易性

    専門者による操作

    簡単

    簡単

    サンプリング・分析時間

    > 60 mins

    快速

    < 15 mins

    価格

    中低

    メンテナンス

    時間がかかる・複雑

    快速・簡単

    快速・簡単

  • 多種ガスオンライン解析システム(IAE-900/1000)
    •高機能の半導体製造プロセスで酸やアルカリなどの有機物質を分析する •1台化した分析システムと自動サンプル収集システム •工数削減を目的としたGEM機能付き ...

  • 仕様
    •測定能力:1000種類以上のガス化合物などの有機物質を測定
    •-ppbvレベルでの測定可能
    •毎5分1回のデータ分析
    •IAE-1000 (1台)の監視と測定するポイントは 40か所以上
    •最大サンプル収集の距離 200m 
    •自動に異常ガスを記録する 
    •SEMI S2認証を取得済み
    Applications
    •半導製造
    •パネル製造

    •ウェハー製造工場 
    •パネル製造工場 
    •封止と検査する工場
    •ウェーハボックス(FOUP)

    •フォトリソグラフィプロセスŸ
    •エッチングプロセス Ÿ 
    •化学気相成長プロセス
    •クリーンルームŸ
    •ウェーハの保管

     

    IAE1000-01


 追加情報

初出展/New Exhibitor
Yes
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other