アークステーション

横浜市中区山下町,  神奈川県 
Japan
http://www.ark-station.com/
  • 小間番号4909


当社は検査・計測装置に特化し、装置延命化の保守・メンテナンス業務支援に加え、中古・代替新品装置の販売を行っております。

装置延命化事業

装置メーカー様に代わり、保守・メンテナンス業務を請け負います。※ナノメトリクス社製膜厚測定装置、ニコン社製マスク検査装置、ケーエルエー・テンコール社製欠陥検査装置等。

検査・計測装置(新品・中古) 販売事業

最先端向け全自動膜厚濃度測定装置、膜厚・OCD測定装置に加え、老朽化のリプレスとして、中古装置、代替新品装置(小径ウェーハ対応)の取り扱いがあります。 ①代替新品装置:3次元形状測定装置、膜厚測定装置、エリプソメータ、透明基板用欠陥検査装置、重ね合わせ精度測定装置等。 ②中古装置:ナノメトリクス社製膜厚測定装置、ケーエルエー・テンコール社製各種検査装置 備考)弊社の取り扱い中古装置は、弊社またはパートナーで保守・メンテナンスのできる装置に限っております。


 出展製品

  • 全自動XPS/LE-XRF膜厚濃度測定装置(ReVera)
    非破壊のX線光電子分光(XPS)と低エネルギー蛍光X線(LE-XRF)をベースとし、20nmノード以降の計測技術に対処します。超極薄膜の膜厚、元素濃度分布、組成比のプロセス管理を実現します。...

  • <複数情報の同時測定>

    ・各層の膜厚とマッピング

    ・各元素濃度とマッピング(N, O, F, C, Si, High-k材料など)

    ・元素結合組成比とマッピング

    ・元素プロファイルの測定とマッピング

  • 膜厚・OCD測定装置(NOVA)
    NS3090NextSA200mmは、6~8インチウェハの膜厚測定・OCD測定装置です。高精度・高スループットを実現し、量産運用に適応したマッチングを兼ね備えた装置です。既存老朽化装置から、新品装置へのリプレスに最適です。...

  • <Specification>

    ・Polarized Spectral Range: 235 - 970nm

    ・OCD Precision: 0.3nm (3σ)

    ・Pattern recognition: >99.9%

    ・T2T matching: 0.4nm

    ・Throughput (TF): 100wph

    ・Throughput (OCD): 95wph

  • 重ね合わせ精度測定装置(東京航空計器)
    露光装置の露光ずれを自動計測する小径ウェハ(3~8インチ)対応のオーバーレイ検査装置です。各種ウェハ(シリコン、GaN、SiC、サファイア)に対応しております。既存老朽化装置から新品装置へのリプレスに最適です。...

  • ・パターンニングされたウェハ上の各チップの重ね合わせ誤差を自動計測し、合否判定を行います。

    ・多様なカスタマイズの対応により、「露光装置とのオンラインでの補正値フィードバック」や、「ウェハ内の各種解析データ処理」が可能です。

  • 卓上型光干渉式膜厚計(東朋テクノロジー)
    多数の実績を誇る業界標準機のナノメトリクス社より技術移管された卓上式膜厚測定装置です。...

  • スペクトル解析ソフトを標準搭載することにより、多層膜(通常3層まで)の同時測定及び光学定数(n, k)の測定が可能です。厚膜対応として、高感度高分解能ヘッド(スポットサイズ:Φ15um)をラインナップし、酸化膜換算で100Å~70umまで測定可能です。また、100倍対物レンズ(Φ0.75um)のオプションもあります。

  • ナノメトリクス、ケーエルエー・テンコール 中古装置
    弊社、パートナー会社にて、保守・メンテナンスができる装置(膜厚測定装置・欠陥検査装置)に限り、中古装置販売を行っております。※立ち上げ作業・動作保証付き。...

  • <在庫装置例>

    ・ナノメトリクス(Nanometrics)社製 全自動膜厚測定装置

      モデル:Nanospec6100, 5100, 210XP, 8300

    ・ケーエルエー・テンコール(KLA-Tencor)社製 欠陥検査・計測装置

      モデル:KLA2138XP(明視野外観パターン付きウェハ欠陥検査装置)

           SFS6420, SFS6220(レーザー散乱式ノンパターンウェハ欠陥検査装置)


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor