天谷製作所

越谷市,  埼玉県 
Japan
http://www.amaya-cvd.co.jp
  • 小間番号3429

常圧CVD装置の天谷製作所へようこそ。伝統的な連続式常圧CVD装置に加え、枚葉式装置を開発。進化を続けます。

枚葉式常圧CVD装置 A200V

少量多品種から大量生産までカバーする枚葉式常圧CVD装置です。フェイスダウン式成膜方法の採用により優れた膜厚均一性、パーティクル制御、埋め込み性能を発揮します。

 

連続式常圧CVD装置 AMAX800V

伝統的な連続CVD装置の生産性をさらに上げた高性能装置です。SiCトレーの採用による重金属汚染低減、トレースピードを従来比1.5倍に高め、1時間当たり100枚の8インチウェハの処理が可能になりました。

 

連続式常圧CVD装置 A6300S

6インチ以下の小口径ウェハを処理する大量生産装置です。装置のコンパクト化、重金属汚染対策を施し、1時間当たり120枚の6インチウェハを処理が可能です。

 

中古装置

低価格で高性能なメーカー保証付き中古装置の販売を行っております。

 


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
太陽光発電(PV)/Photovoltaic, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor