アルバック

茅ヶ崎市萩園,  神奈川県 
Japan
http://www.ulvac.co.jp
  • 小間番号3421

◆様々なロジック・メモリデバイスに貢献する、アルバックの半導体製造技術 不揮発性メモリ、微細配線工程を中心とした成膜、配線形成技術及び、メインプラットフォームであるENTRON-EX W300と小規模量産装置であるMLX-3000Nを中心とした装置群をご紹介します。

 

◆高品質スパッタリングターゲット アルバックは「低パーティクル」「均質な膜厚分布」「高い使用効率」をめざして、材料ごとに製造方法を検討することで、高品質なスパッタリングターゲットを開発・製造しています。SEMICON Japanでは、半導体用、薄膜Li電池用、MEMS用の各種材料を展示いたします。また、各種蒸着材料及びAu,Ag,ITO等のナノメタルインクもご紹介します。

 

◆最新の真空コンポーネント、薄膜計測機器を実機にて多数ご紹介。DC電源 (DPGシリーズ)、RF電源 (RFS-Nシリーズ)、DC PULSE電源 (DPG-Pシリーズ)、真空計(G-TRAN シリーズ ST-2)、 分光エリプソメータ (UNECS-2010A)、触針式プロファイラ (P-17 *KLA-Tencor社製品)を展示します。この他にも、ヘリウムリークディテクタ (HELIOT900シリーズ)、 プロセスガスモニタ (Quleeシリーズ)、 ドライ真空ポンプ (CRシリーズ)、 ターボ分子ポンプ (UTMシリーズ)など豊富な製品を用意して皆様のご来場をお待ちしております。

 

◆最新中古機情報、CIPのご相談承ります! 半導体、MEMSなどに対応するスパッタ・蒸着・CVD等の各種中古装置の他、 計測機器・真空ポンプ等の最新中古機情報を用意しています。また、CIP活動と合わせて、装置延命化に寄与するべく、各種ご相談を承ります。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor