イーヴィグループジャパン

横浜市保土ヶ谷区,  神奈川県 
Japan
http://www.EVGroup.com
  • 小間番号5528


“Mid-end” Technologiesをテーマに、EVGの幅広いソリューションをご紹介

EVGはウェーハプロセス技術の世界的リーダーとして、3D実装、TSV、MEMS、ナノインプリントリソグラフィー(NIL)を実現する、ボンダー、アライナー、塗布現像装置やその他の製造装置を提供しています。SEMICON2016のEVGブースでは、“Mid-end” Technologiesをテーマに、EVGの幅広いソリューションをご紹介いたします。長年の経験と技術に裏付けられた、最先端の高真空度・高精度ボンディング技術のほか、PV、LED、CMOSイメージセンサ等のコストダウンおよび高性能化を可能にする製造ソリューション等を提案します。お客様の課題の解決に貢献いたしますので、是非EVGブース(#5528)へお立ち寄りください。


 出展製品

  • EVG GEMINI FB XT 全自動フュージョン接合装置
    EVGのGEMINI FB XT統合フュージョン接合装置は、現在の標準仕様を拡張し、フェイス・ツー・フェイスのアライメント精度の改善と、高い生産性を兼ね備えています。本装置は、新規開発されたSmartView NT2ボンドアライナーを備え、次世代のアライメント要求である200nm (3σ)を達成しています。...

  • ウェーハ・ツー・ウェーハのアライメントを3倍向上
    ・新型SmartView NT2
    ・200nm (3σ) 以下のフェイス・ツー・フェイスアライメント

    スループットを50% 向上
    ・前処理モジュールを6台までアップグレード可能
    ・より高速な搬送と改善されたプロセスフロー

    新デバイスを実現可能に
    ・3D積層メモリー(高帯域幅メモリーなど)
    ・次世代積層型CMOSイメージセンサー
    ・モノリシック・デバイス構造

  • IQ Aligner 全自動マスクアライナー
    IQ Alignerは、300㎜までの基板に対応した全自動型マスクアライナーで、全面露光、片面、又は両面アライメント、ラージギャップやダークフィールドマスクアライメントにも対応しています。高度に自動化され、かつ維持管理費の低いIQ Alignerは、量産用装置としてお客様のニーズに応えます。...

  • ◾300㎜のウェーハに対応した、最新技術をサポートする高性能全自動装置
    ◾全面露光、非接触平行面出し機構、厚膜レジストプロセス、反りウェーハ搬送機能を搭載し、ウェーハバンピングやチップスケールパッケージング等のアプリケーションに対応
    ◾NanoAlignによる高解像度上下面スプリットフィールドマイクロスコープ搭載
    ◾短時間の切り替えで、異なるサイズの基板を搬送可
    ◾Windowsをベースにしたインターフェース
    ◾ダークフィールドマスクアライメント
    ◾手動又は全自動での高スループットプロセス
    ◾最小限に抑えた設置面積
  • EVG150XT 量産対応レジストプロセス装置
    EVG150XTシリーズレジストプロセス装置は、フォトレジスト塗布と現像において、品質とスループットの面で新しいスタンダードを確立します。EVG150XTは、最高の生産性と信頼性を備え、個別の製造要求に対応した様々なプロセスモジュールを搭載することができます。インライン計測モジュールは、同一装置内で、プロセス結果を検証することが可能です。また、ポジ型・ネガ型のレジストや、ポリイミド、高粘度レジストやSOD(spin-on dielectrics)材料等、幅広い材料に対応可能です。...

  • ◾300mmまでのウェーハに対応
    ◾最高のスループットを可能にするXT Frameコンセプト
    ◾最大4つのウェーハカセットの同時プロセスが可能なEFEMと、高稼働率での全自動生産が可能なオプションのFOUPストレージ機構
    ・最適化されたパラレル稼働モードで最大9個まで、個別に組み合わせ可能なプロセスモジュール
    ◾スピン塗布、スプレー塗布、NanoCoat、現像、ベーク、冷却、蒸気プライムまたはインライン計測ステーションなど異なるプロセスモジュールを統合可能
    ◾1µmから100µm以上の厚さに対応する厚膜/薄膜レジスト塗布
    ・幅広い材料に対応
    ◾インライン計測によるプロセス結果の検証をサポート
    ◾ユーザーフレンドリーで拡張性に優れたソフトウェア

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS, 半導体/Semiconductor