イーグル工業

港区芝大門,  東京都 
Japan
http://www.ekkeagle.com/jp/
  • 小間番号3311


次世代半導体製造装置に求められる超高真空、低パーティクルに対応するシール製品をご紹介致します。

     様々なプロセスに対し最適なシール方法をご提案

半導体製造工程における、様々な製造プロセス装置に対し、お客様の要求に合わせて最適なシール方法をご提案致します。

半導体・液晶パネル・太陽電池パネル・LED等の製造装置をはじめ、産業機器分析機器、クリーンロボットなど、あらゆる産業分野で使用され、高性能、高信頼性のシールとして評価されている、イーグル工業の磁性流体シールを是非ご覧ください。


 出展製品

  • 磁性流体真空シール
    半導体・液晶パネル・太陽電池パネル・LED等を製造する最先端装置の分野において、クリーンな環境で使用できるシールとして、幅広く活躍をしています。...

  • イーグル工業は独自のノウハウによって、磁性流体を開発・製造し磁性流体真空シールにはイーグル工業独自の磁性流体を使用しています。

    耐熱性が高いため、周辺に冷却機構を設けない構造を提唱でき、CVD装置等で局部的な冷却による副生成物の発生を抑えることが期待されます。差動排気無し直接排気のみで極高真空に対応ができ、低アウトガス性能に優れています。

    その他展示品

    ゴム製品: Kalrez®(Dupont社製)・高機能ふっ素ゴム スペリア

    溶接ベローズ、ロータリージョイント

    ※その他展示品とのコンビネーションタイプの磁性流体真空シールの提案が

        可能です。

    詳細については当社ブースへ是非お立ち寄り下さい。

     


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor