CyberOptics Corporation

別府市,  大分県 
Japan
http://www.Cyberoptics.com
  • 小間番号4605


12年連続でセミコンJAPANに出展してます。これからも宜しくお願いいたします。

装置メンテに使う便利ツールを開発しています。

ワイヤレスでウエーハライク形状のレベル測定、振動測定、画像処理による一測定、静電容量によるギャップ測定、気中パーティクル測定、そして今年の新製品は、

レベル+振動+温湿度測定を厚み4.5mmに収めたマルチ測定ウエーハとレチクルです。


 出展製品

  • WaferSenseAMS
    振動、レベル、湿度測定を一体型にしたワイヤレスマルチセンサー...

  • 実績のある振動センサAVS、レベルセンサーALSを合体し、さらに5点の湿度測定を1つにまとめたワイヤレスマルチセンサーです。厚み4.5mm、軽量163gなので、多くの半導体製造装置、チャンバーに搬送させることが可能です。真空互換性あり。
  • ReticleSenseAMS
    ReticleSense AMS - The most efficient and effective wireless measurement device for leveling, vibration and humidity....

  • 振動、レベル、湿度測定を一体型に収めたワイヤレスマルチセンサー。石英製レチクルハウジングで、形状と重さを本物と合わせています。真空互換性あり。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor