エー・シー・イー

Kohoku-ku Yokohama-shi,  Kanagawa 
Japan
http://www.kk-ace.co.jp
  • 小間番号4725


 出展製品

  • 排気圧力コントローラ EPSシリーズ
    枚葉式洗浄装置を始めとした排気ダクトラインの圧力変動による 製造プロセスのユラギを防ぐための機器です。 独自に開発した空圧駆動ゴム膨張バルブにより、小型かつ極低圧損で 高速の圧力制御を可能にしました。排気圧力を適切に制御することで 排気流量も適正に管理されるため、排気ダクトの総流量・圧力管理により 大幅なエネルギーコストの削減が可能になります。 接続口径最大200A、流量15[m3/min] 調整圧力は-50~-999[Pa]の制御が可能です。...

  •  主な用途 

        ◆ 枚葉式洗浄装置のチャンバー圧力制御

        ◆ クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御

        ◆ 排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス

        ◆ 液晶のエア・ナイフ槽の排気圧力コントロール

        ◆ クリーンブース内の排気圧力コントロール