エスオーエル

戸田市,  埼玉県 
Japan
http://www.sol-j.co.jp/
  • 小間番号2124


米国Corning Tropel社製の平面度測定機、粗さ測定機をご紹介致します。

ウェーハ、フォトマスク業界標準機の平面度測定を取り扱っております。平面度測定機は、SiC、Lt、GaNウェーハ等、様々な分野での実績がございます。測定でお困りのことがございましたら、是非ブースへお立ち寄り下さい。


 出展製品

  • ウェーハ用平面度測定機【FlatMaster】シリーズ
    ■30秒で全面一括の平面度測定 ■アズスライス~ポリッシュまで測定可能 ■世界標準のNISTトレーサブル(校正原器標準付属)...

  • 米Corning Tropel社製の平面度測定機のご紹介です。

    手動機から自動機まで幅広いラインナップをご用意しております。

    詳細はそれぞれの製品ページをご参照ください。

    ■手動機→【FlatMaster-Wafer】へ

    ■半自動機→【FlatMaster-SemiAuto】へ

    ■自動機→【UltraSort】へ

    ■粗さ測定→【FlatMaster Ra】へ

  • 平面度測定機(自動機)【UltraSort】
    自動タイプのウェーハ用平面度測定機です。カセットからカセットへ自動搬送しながらTTV、SORI等を測定します。...

  • 【機種例:UltraSortⅡ200】

     

    ■測定原理:斜入射干渉計

    ■ウェーハサイズ:4"~8"

    ■スループット:140枚/h(吸着・非吸着)

              120枚/h(吸着・非吸着・厚み)

    ■カセット数:4個(オプションで8、12、16個も可能)

    ■オンライン化:可

    ■測定波長:635nm半導体レーザー

    ■縞感度:1.8~7μm/fringe

    ■測定データ数:最大約25万点

    ■測定分解能:0.01μm

    ■測定精度(Accuracy):0.10μm以下

    ■測定精度(Repeatability):0.025μm(1σ)以下

    ■測定時間:サンプルセットから解析まで30秒以下

  • 平面度測定機(手動機)【FlatMaster-Wafer】
    手動タイプのウェーハ用平面度測定機。水平保持仕様の【FlatMaster-Industrial to Wafer】は座屈の影響を受けにくいので、300μm厚以下のウェーハで大好評です。...

  • 【機種例:FlatMaster200】

    ■測定原理:フィゾー式斜入射干渉計

    ■ウェーハサイズ:2"~8"

    ■Zoom追従範囲:40~200mm

     (横分解能:96~457μm)

    ■縞感度:1.5μm~8μm/fringe

    ■測定データ数:最大約25万点

    ■測定分解能:0.01μm

    ■測定精度(Accuracy):0.10μm以下

    ■測定精度(Repeatability):0.025μm(1σ)以下

    ■測定時間:サンプルセットから解析まで30秒以下

  • 粗さ測定機【FlatMaster Ra】
    卓上タイプの粗さ測定機です。ステージにサンプルを載せるだけの簡単セッティング。粗面から鏡面まで測定可能です。...

  • ■測定原理:白色干渉計

    ■視野(標準:1mm)(オプション:0.2mm、0.5mm、3.2mm)

    ■測定データ数:最大約100万点

    ■測定項目:Ra、Ry、Sa、St、他

    ■繰返し精度:0.02nm

    ■測定時間:測定開始から解析まで約15秒

  • 平面度測定機(半自動機)【FlatMaster-SemiAuto】
    自動機へのアップグレードが可能な半自動タイプの平面度測定機。ユニバーサルチャック採用でチャック交換の必要がなく、TTVとSORIの連続測定も可能です。...

  • 【機種例:FlatMaster-SemiAuto200】

    ■測定原理:フィゾー式斜入射干渉計

    ■ウェーハサイズ:2"~8"

    ■縞感度:1.8μm~6.5μm/fringe

    ■測定データ数:最大約25万点

    ■測定分解能:0.01μm

    ■測定精度(Accuracy):0.10μm以下

    ■測定精度(Repeatability):0.025μm(1σ)以下

    ■測定時間:サンプルセットから解析まで30秒以下


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor