エムエス機器

大阪市淀川区,  大阪府 
Japan
http://www.technosaurus.co.jp
  • 小間番号3125


 出展製品

  • ThermoRack 1201
    半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大93%削減!騒音・振動も防止!...

  • 『ThermoRack1201』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
    冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。

    半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
    ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

    温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、
    1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。

    【特長】
    ■消費電力を最大93%削減
    ■冷却水使用量を最大60%削減
    ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
    ■騒音・振動を低減
    ■19インチラックに収まるサイズで省スペース
     
  • NIKOLA 3K / 5K
    半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大80%削減!騒音・振動も防止!冷却能力最大5500W!...

  • 『NIKOLA 3K / 5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で
    冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。

    半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
    ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

    温度制御部は、複数のペルチェデバイスで構成され、
    1個のデバイスに不具合が起きても、約97%の能力を維持したまま稼働します。

    【特長】
    ■消費電力を最大80%削減
    ■冷却水使用量を最大60%削減
    ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計
    ■騒音・振動を低減