大塚電子

大阪市中央区大手通,  大阪府 
Japan
http://www.otsukaele.jp
  • 小間番号2237

インテグレーションからスタンドアローン装置まで幅広いご要望にお応えする大塚電子の精密検査サービス


 出展製品

  • 高速ウェーハ厚みマッピングシステム
    高速マッピング可能なコンパクトマッピング仕様...

    • Rθ可動軸による高速マッピング仕様
    • コンパクト設計マッピングステージ
    • 半導体プロセス装置への組込み可能(組込みマッピング仕様)
    • オリフラ、ノッチの画像認識機能
    • 分光干渉法により非接触・非破壊で高い再現性を実現
    • 貼り合せウェハの薄膜ボンディング、Si厚み、サポート基板のトータル厚み測定
    • 多層厚み測定が可能
    • オリフラ、ノッチの画像認識によるウェーハ面内高精度位置決めを実現 
  • ウェーハ厚みマッピングシステム
    パターンのあるサンプルでもウェーハの厚みをマッピングするシステムです。...

  • ・配線埋め込みパターン付ウェーハ面内の厚み測定に最適
    ・MEMSやセンサーデバイス向け6インチウェーハ対応(Option:8及び12インチ対応可能)
    ・高精度X-Y位置決めステージ
  • 顕微分光膜厚計
    顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。...

    • 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約!
    • 顕微分光で高精度な絶対反射率測定(多層膜厚、光学定数)
    • 1ポイント1秒以内の高速測定
    • 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系(紫外~近赤外)
    • エリアセンサーによる安全機構
    • 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード
    • 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
    • 各種カスタマイズに対応

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor