クリーンアクト

大田区,  東京都 
Japan
  • 小間番号5602

・AsH3/PH3を対象とした高輝度LED・LD化合物半導体用乾式排ガス処理装置

・大流量NH3(GaNプロセス等)を対象とした触媒燃焼式排ガス処理装置

・各種排ガス処理装置(乾式・大気圧プラズマ・燃焼)

・排気生成物トラップや危険性の高い高純度ケミカル供給ユニット


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor