三友製作所

常陸太田市,  茨城県 
Japan
  • 小間番号2908

常に挑戦し続けるテクノロジー創造企業

当社は産学官共同研究により独自の精密位置決め技術、プラズマ技術を確立し、顕微鏡関連付属品、半導体故障解析ツールの開発から製造まで行っております。 培われた技術と新しい感性で皆様の研究や開発をサポート致します。


 出展製品

  • 卓上プラズマエッチング装置
    独自のスポットプラズマ技術にて局所加工が可能に! 半導体故障解析用資料の前処理(配線の露出)から 各種プラズマ加工に幅広く対応致します。 小型かつ安価な装置のためIoTに向けた 研究開発用のプラズマエッチング装置として最適です。...

  • 装置の特徴

    ・卓上サイズでコンパクト!

    ・局所的なプラズマ加工が可能(φ0.5mm~)

    ・低残渣かつ高速加工を実現(Si E/R 10μm/min)

    ・低出力のRF電源(最大出力50W未満)

    ・スキャン加工によりダイレクトパターニングが可能

    ・IoTに向けた研究開発用のプラズマエッチング装置に最適

    主な用途

    ・表面改質

    ・半導体デバイスの絶縁膜除去

    ・半導体デバイスの裏面加工

    ・プラズマクリーニング

    ・各種材料のエッチング

     

  • ナノマニピュレーションステージ
    ナノ領域を操るXYZ軸可動の小型ステージユニット! 電子顕微鏡の標準ステージ上へ容易に搭載可能で、 試料を観察しながらナノ領域の電気的な特性評価や超微細作業が可能です。 半導体デバイスの故障(不良)位置特定のプローバとして豊富な対応実績がございます。...

  • 製品の特徴

    ≪分解能1nm以下≫

    位置決め精度の最小分解能が1nm以下を実現!

    電子顕微鏡下での超精密作業に申し分ない性能を有しております。

    ≪粗微動一体の自社製アクチュエータ搭載≫

    1つの圧電素子にて連続ステップ動作(粗動)、

    圧電素子の直接動作(微動)が可能なアクチュエータを

    搭載しており、ゼロバックラッシュを実現しております。

    ≪幅広いカスタム性・多彩なバリエーション≫

    電子顕微鏡に本ユニットを複数搭載することで多軸化を図り、様々な用途に対応可能です。

    光学顕微鏡とシステム化することにより大気中での微細作業にも対応可能です。

    主な用途

    ・電気特性評価

    ・異物のピックアップ等

    ・半導体デバイスの故障(不良)解析

  • ミニマルマイクロプラズマエッチング装置
    ハーフインチサイズウエハを使用して多品種少量および変種変量生産ニーズに適応した新時代のファブ構想「ミニマルファブ」。 ミニマルマイクロプラズマエッチング装置はミニマル規格の筺体にマイクロプラズマ技術を用いました。...

  • 製品の特徴

    マイクロプラズマを採用!

    下流域に効果的なラジカルを供給し、

    小型・低出力電源で安定発生を実現致します。

    ≪設置申請不要のRF電源採用≫

    最大出力50W未満のRF電源を採用し、

    使用する際に面倒な設置申請が不要に。

    ≪ミニマルシャトルでクリーンルーム不要≫

    ミニマル規格に基づく専用容器を用いることで

    クリーン度を保ったままウエハの自動搬入・排出が可能に!


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS, 半導体/Semiconductor