アップ・テック・ジャパン

千葉市美浜区磯辺,  千葉県 
Japan
http://uptechjapan.com
  • 小間番号1140


ガス精製、ガス分析、ゲッターポンプにご興味のある方は、弊社ブースにお立ち寄りください。心よりお待ち致しております。

次世代半導体SiC・DLCの高純度化、デバイスの高性能化に貢献する、ゲッター式超高純度ガス精製装置「モノトール®」に加え、LED・OLED製品の高輝度化・長寿命化に貢献する超高純度ガスフィルター「マイクロトール®」の実機展示を致します。その他、パラジウム膜水素ガス精製装置、ガス分析器、新製品のゲッターポンプ「キャパシトール®HV」の取り扱いをいたしております。


 出展製品

  • 超高純度ガス精製フィルター [マイクロトール/MICROTORR]
    SAES PURE GAS社はガス精製技術において世界トップレベルのメーカーです。 大部分のバルクガス、および特殊ガスに対応できるよう、様々な製品を取り揃えています。 [MICROTORR]シリーズガス精製フィルターは、多様なガス種や流量に対応した、多彩なラインナップをご用意しております。...

  • マイクロトール®は、室温型ガス精製器で、窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCl等を含めた
    様々なガスから不純物を除去するように設計されています。
    ほとんどの場合、これらのガスに含まれる不純物は、1ppb未満にまで除去されます。

    【用途】

    • 気相蒸着プロセス(CVD/MOCVD/PVD/エピタキシ)
    • フォトリソグラフィ 
    • エッチング
    • 拡散・酸化プロセス
    • アニール
    • メトロロジー
    • 光ファイバー
    • カーボンナノチューブ(CNT)
    • 分析
    • 溶接ガス精製
    • ガスキャビネット

     

    【特長】

    • 様々なサイズ・形状に対応可能
    • ~2,000slpmの豊富なサイズ設定
    • 低圧力損失
    • 低価格の再生でランニングコストを削減可能(一部再生不可)
    • 長寿命(定格流量で5Nのガスを基準として約1年)
    • 高耐食性(SUS316L、表面電解研磨仕上げ)
    • パーティクルフィルター内蔵(標準2.0μ,オプション0.003μ)
    • 室温型で取扱いが容易

     

    【主な被精製ガス】

    • バルクガス:N2,Ar,O2,H2,He  etc.
    • 腐食ガス:NH3,Cl2,NO2,NO,SO2 etc.
    • 特殊ガス:SiH4,SiH2Cl2,SiHCl3,SiCl4,SiF4,AsH3,PH3,B2H6,BF3,BCl3,GeH4,NF3,GeCl4 etc.

     

  • 大型超高純度ガス精製装置「メガトール®」 「MegaTorr®」gas purifier
    概要:「メガトール®」ガス精製装置は、触媒/吸着式、ゲッター式等、精製ガス種に最適方式で半導体製造用の各種高純度ガスを供給します。 省スペース形状でありながら低ppbレベルまでの精製能力を発揮するための最適な設計が施されています。 PLC制御により、操作の煩わしさを最小限にし、エラ-チェックや温度制御を正確に行い、システムを監視します。 装置状態確認や操作はカラーのタッチ画面で行います。...

  • 希ガス用(PS5)-ゲッター式

    除去不純物:O2,H2O,CO,CO2,H2,CH4,N2 <1ppb

    最大流量: 200Nm3/H

     

    水素ガス用(PS7)-ゲッター式/吸着式

    除去不純物:O2,CO,CO2,H2O,CH4(ゲッター式のみ),N2(ゲッター式のみ) <1ppb

    最大流量: 160Nm3/H(ゲッター式)、500Nm3/H(吸着式)

     

    アンモニア用(PS21)-吸着式

    除去不純物:H2O,O2,CO2 <1ppb

    最大流量: 60Nm3/H

     

    CDA用(PS22)-吸着式

    除去不純物:H2O,CO2 <100ppt,有機物,酸,塩基,耐火性化合物<10ppt

    最大流量: 4,000Nm3/H

     

    CO2用(PS32)-室温吸着方式

    除去不純物:H2O,O2,CO,H2,COS,CS2,H2S <1ppb,

    揮発性有機酸(SO2),凝集性有機物(HC's>100amu,デカン),

    非凝集性有機物(HC's>58amu,トルエン),耐火性物質(HMDSO) <1ppt

    揮発性塩基(NH3) <5ppt

    最大流量:500Nm3/H

  • パラジウム膜水素ガス精製装置 [PS7-PD05,PD1,PD2]
    パラジウム膜式水素ガス精製装置は、特許のパラジウム膜技術により、水素ガス中の不純物O2,H2O,CO2,CO,N2,CH4,NMHCを<1ppbに除去します。 入口ガス純度99.99%(4N)の低純度ガスでも99.9999999%(9N)の超高純度ガスの供給が可能です。 また、他社製品と比べ約50%以下の低消費電力であり、独自の配管設計により小型を実現し、わずか2%の水素放出量であること、長寿命であることが大きな特長です。...

  • 【用途】

    LEDデバイス製造

    シリコンカーバイド(SiC)エピタキシャル

    クリスタル成長

    太陽電池製造

    Ⅲ/Ⅴ、Ⅱ/ⅥMOCVDプロセス 

    ポリシリコン製造

    シリコン&化合物半導体

    燃料電池

     

    【特長】

    入口ガス純度が低純度でも超高純度水素を供給可能

    最大2,170slpm(140Nm3/hr)までの流量に対応可能

    出口不純物O2,H2O,CO2,CO,N2,CH4,NMHCを<1ppbに除去

    独自の配管レイアウトを採用し低消費電力を実現

    コンパクトなサイズで取扱いが容易

     

    【パラジウムの利点】

    パラジウム膜で水素のみを透過

    水素ガス中の不純物を除去可能

    長寿命

    ppmレベルの不純物を含む低純度ガスでも超高純度に精製可能

    In-situヘリウムリークテストにより、精製能力を容易に確認可能
  • ゲッター式超高純度ガス精製装置「モノトール®/MONOTORR」
    「モノトール®」は、ゲッター式の超高純度ガス精製装置で、半導体アプリケーション用に超高純度ガスを供給するために特別設計されました。 精製対象ガスは、希ガス、窒素、水素、メタンで、ガス中の不純物は、低ppbレベルまで除去されます。 「モノトール®」は、組立などを行う必要がない一体型のガス精製装置で、VCR継手で装置に工場側配管を接続し、内蔵ヒーターでゲッター材を加熱しながらガス精製を行います。...

  • 【用途】

    気相蒸着プロセス(MOCVD/PVD/CVD/エピタキシ)  

    フォトリソグラフィ

    メトロロジー

    LED

    単結晶引上げ

    エッチング

    拡散・酸化プロセス

    アニール

    光ファイバー 

    太陽電池 

    ダイヤモンド薄膜

    【特長】

    ガス中の不純物をゲッター合金と化学結合させ不純物を除去

    入口ガス純度5N以上で定格流量で連続運転した場合、約1年の寿命

     

    【除去不純物】

    希ガス用:O2,H2O,CO,CO2,H2,N2,CH4 <1ppb

    窒素ガス用:O2,H2O,CO,CO2,H2,CH4 <1ppb

    水素ガス用:O2,H2O,CO,CO2,]N2 <1ppb

    メタンガス用:O2,H2O,CO,CO2 <1ppb、N2 <10ppb

  • 高圧ガス精製アプリケーション「HPシリーズ/SPシリーズ/HP14K/PS5」
    SAES社は超高純度(UHP)配管設計での長年の経験と実績により、低コスト、高信頼性、高性能のニーズを満たすために、高度なプロセス材料の分析等によって高圧ガス対応した超高純度ガス精製器・精製装置を各種取り揃えております...

  • 「HP/SPシリーズ インライン型ガス精製フィルター」

    従来のSAES社製インライン式ガス精製フィルターと同様のスタイルでお使いいただけます。

     

    「HP14K 定置型インラインガス精製システム」

    より大流量に対応したインラインのガス精製システムです。金属製フレーム、手動バルブ、圧力リリーフポートを備えており、高圧大流量でのガス供給が可能です。

     

    「PS5-HP10-R ゲッター式ガス精製装置」

    ゲッター合金材を加熱昇温しHe、Ar、Xeガス中の不純物を除去します。正面に設置したHMIと内部のPLC制御により運転時の温度やバルブ動作をコントロールします。

     

    SAES社製高圧ガス精製アプリケーションはKHK非認証品です。認証取得の際は別途個別に認証試験にて取得する必要がございます。

     

    精製後の流量は装置に供給される精製前のガス圧力に影響されます。

     

    [HP/SPシリーズ]、ならびに[HP14]は一部モデルを除き北米SAES社にて再生が可能です。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor