シンフォニアテクノロジー

港区芝大門,  東京都 
Japan
http://www.sinfo-t.jp
  • 小間番号2913


微細化はもちろん、IoTで需要が高まりつつある200mmをサポートする半導体搬送機器をご覧いただけます。

微細化(1xnm)をサポートし、N2パージに対応した次世代機「SELOP-8」と新形アームロボットを組み合わせたデモンストレーションや、300mm/200mm自動切り換え機能を搭載したロードポート「SELOP-7」、LED/パワー半導体基板の搬送自動化により高精度・オペレータレス化が期待される基板自動搬送装置(EFEM)をパネルと映像で紹介いたします。
また、関連会社のシンフォニアエンジニアリングからは200mm簡易型SMIFポッドオープナーのデモンストレーション展示を行います。


 出展製品

  • N2パージ仕様 300㎜FOUP対応ロードポート「Smart SELOP-8」
    独自機構の採用でよりスムーズな FOUPドア開閉を実現 エアー/電動のハイブリッド動作機構により、ドア開閉時の振動を抑制し、 パーティクルパフォーマンスを大幅に向上。 最新の高気密性FOUPにも対応。 ...

  • 独自機構の採用でよりスムーズな
    FOUPドア開閉を実現

    エアー/電動のハイブリッド動作機構により、ドア開閉時の振動を抑制し、
    パーティクルパフォーマンスを大幅に向上。
    最新の高気密性FOUPにも対応。

  • 300/200mm 自動切り換え機能搭載ロードポート「Smart SELOP-7」
    300mmウェーハ対応LPがオープンカセットアダプタを載せるだけで 200mmウェーハ対応LPに!...

  • 300mmウェーハ対応LPが
    オープンカセットアダプタを載せるだけで
    200mmウェーハ対応LPに!

    ■200/300mm両対応のマッパーを採用
    ■ウェーハ飛出し防止機構を採用
    ■ウェーハ搬送中はアダプタドアが開かない安全ロック機構を採用

  • 基板自動搬送装置(EFEM)
    LED/パワー半導体基板の大型化ニーズに対応...

  • LED/パワー半導体基板の大型化ニーズに対応

    ■6/8インチ基板対応
    ■カセット~プロセス処理室間での基板セット&基板搬送の自動化により、省力化を実現
    ■高清浄度・N2雰囲気内(N2 循環による)でのハンドリングにより、高歩留りを実現(異物・水分・酸素等のコンタミ低減)
    ■プロセス処理後の高温基板もハンドリング可能にする事で、高生産性を実現


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor