SCREENセミコンダクターソリューションズ

京都市上京区堀川通り寺之内上る,  京都府 
Japan
http://www.screen.co.jp/eng/spe/index.html
  • 小間番号5444


SCREENの高品質な製品群をセミコン会場で紹介いたしますので、是非当社ブースへお立ち寄り下さい。

セミコンジャパン2016では,本年9月に発表いたしましたSU-3300を初めとする枚葉洗浄装置やスピンスクラバ、バッチ式洗浄装置、レジスト処理装置コータ/デベロッパ、熱処理裝置、膜厚測定装置 ラムダエースシリーズ、ウエーハ外観検査装置を紹介いたします。 更にIoT時代に対応したMEMS、イメージセンサー、パワーデバイス製造には欠かせないフロンティア・プロジェクト裝置群をご紹介致します。


 出展製品

  • 洗浄装置
    枚葉式洗浄装置: SU-3300, SU-3200, SU-3100 スピンスクラバ: SS-3200. SU-3100 ウェットステーション: FC-3100, FC-821L, WS-620C/WS-820L ...

  • 枚葉式洗浄装置:

      SU-3300 今年9月にリリースした最新装置

      SU-3200 12チャンバを搭載、歳台毎時800枚のハイスループットを実現

      SU-3100 FEOLからBEOLまで幅広い洗浄プロセスに対応

    スピンスクラバ:

      SS-3200 最先端搬送機構の開発により、最大毎時820枚のハイスループットを実現

      SS-3100 処理チャンバの積層化により最大8チャンバを搭載可能。標準で300枚/時、

         オプションで最大420枚/時のスループットを実現。

    ウェットステーション:

      FC-3100 ハイスループットバッファモジュールと高速搬送モジュールを搭載し、650枚/時の高生産性を実現。

      FC-821L ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

      WS-620C/WS-820L 150mmウエーハ用のキャリア搬送(WS-620C)と200mm用ウエーハ用のキャリアレス搬送(WS-820L)の

                    2タイプ。

  • レジスト処理装置
    コータ/デベロッパ   DT-3000、RF-310A、SK-60EX/80EX ...

  • DT-3000 毎時450枚以上の高スループットを実現するデュアルトラックシステム。

    RF-310A 高い信頼性と優れた拡張性で定評のあるRF3プラットフォームをもとに180WPHのハイスループットを実現。

    SK-60EX/80EX 多様な基板へフレキシブルに対応。

  • フロンティアプロジェクト
    枚葉式洗浄装置 SU-2000 スピンスクラバ SS-80EX コンパクトウェットステーション CW-1500 スプレーコータ SC-80EX パターン付きウエーハ外観検査装置 ZI-2000 半導体後工程用直接描画装置 DW-3000...

  • SU-2000 通常のSiウエーハから薄ウエーハまでフレキシブルに対応。

    SS-80EX 豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ。

    CW-1500 薬液から水洗までの処理を自動化して処理時間のバラツキを無くし、エッチング均一性を向上。

    SC-80WEX 凹凸のある立体構造に対応して最適且つフレキシブルに塗布。

    ZI-2000 柔軟性が求められるウエーハ前工程の工程内検査から、高速性が求められる最終外観検査装置にまで幅広く対応。

    DW-3000 三次元実装、バンプ、ピラー形成に最適。

  • 熱処理装置
    フラッシュランプアニール装置 LA-3000-F レーザーアニール装置 LT-3000/3100 赤外線ランプアニール装置 LA-830 ...

  • LA-3000-F ウルトラ・シャロージャンクション形成を可能に。

    LT-3000/3100 超低サーマルバジェット。サブマイクロ秒オーダーでウエーハ最表面のみのメルトアニールを実現。

    LA-830 接触型温度センサ・TSプローブの形状最適化と、加熱用ランプ専用の高速応答温度

          コントローラを採用し、プロセス温度制御機能を一段と向上。

  • 膜厚測定装置
    エリプソ式膜厚測定装置 RE-3100/3300 光干渉式膜厚保測定装置 VM-1200/1300、VM-2200/3200、VM-1020/1030 ...

  • RE-3100/3300 ウエーハの反り等による傾きの影響をなくし、精度の高い測定が可能。

    VM-1200/1300 製造ラインへの導入も可能な卓上モデル。

    VM-2200/3200 高速モードで毎時160枚のハイスループットを実現。(SiO2、5ポイント測定時)

    VM-1020/1030 R&Dに最適な顕微鏡モデル。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor