清和光学製作所

中野区弥生町,  東京 
Japan
http://www.seiwaopt.co.jp
  • 小間番号4528


 出展製品

  • 両面/片面アライメント検査装置
    ウエハーやガラスの両面あるいは片面に形成されたパターンのアライメント精度を、ナノレベルで検査できる装置です。検査精度は20nm(3σ)です。工程管理や製品検査に使用されます。...

  • 製品名:両面/片面アライメント検査装置

    対応ワークサイズ:Φ2インチ~Φ12インチ(角ワークも可)

    対応素材:Si、ガラス、その他応相談

    対応厚み:≧50μm

    検査面:①片面(表面/表面)、②両面(表面/裏面)

    検査精度:20nm(3σ)

    通信:HSMS、SECS、GEM、他応相談

    プロセスデータ:CSV形式にて出力可

    オプション:①線幅計測、②厚み計測、③界面検出、④基板反転、⑤ソート機能、⑥裏面非接触、他

     

     


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor