大日本科研

向日市,  京都府 
Japan
http://www.kakenjse.co.jp
  • 小間番号4608


製造工程上重要なプロセスとなる露光装置を、タペストリーなどでご紹介を致します。

超コンパクトな新型の手動露光装置をはじめ、多種多様な自動露光装置をご紹介致します。

反りの大きなウエハや表裏非接触搬送、グリーンシートなど、多種多様な基材にも対応致します。お気軽にご相談下さい。


 出展製品

  • 【新型】 R&D用手動露光装置(MA-1200A)
    従来の手動装置に比べて、超コンパクトに設計。裏面アライメント機構・バキュームコンタクト機構・割れ基板対応機構など多彩なオプション機構でお客様のご要望にお応えします。...

  • 〇多品種・小ロット生産や実験・研究に最適な手動露光装置(最大有効露光範囲φ6インチ)

    〇フットプリントを縮小することで省スペースを実現。座っての作業も可能。

    〇独自のミラー・レンズ光学系と高速画像処理を搭載。単眼アライメントも可能裏面アライメント機能搭載可能。

    〇4つの露光モードに対応。(プロキシミティ、バキュームコンタクト、ハードコンタクト、ソフトコンタクト)

    〇カット基板(割れ基板)の露光が可能。

     

  • マスクレス露光装置(MX series)
    従来の最小線幅5μmタイプに加え、さらに最小線幅1μmまで対応した高精細タイプのマスクレス露光装置 ...

  • 〇研究開発・試作・小ロット生産向け手動タイプだけでなく、各種自動タイプでのご提案が可能。

    〇従来の最少線幅5µm装置から、さらに発展、最小線幅1µmタイプでのご提案が可能。

    〇アライナーの実績を踏まえた、多種多様な自動装置のご提案が可能。

    ※動画展示予定

  • マスクアライナー(MA-4200)
    全機能をコンパクトに一体化、ウエハーに限らず、化合物半導体や電子部品の製品に適した自動露光装置...

  • 〇高速対応の自動アライナー

    〇独自のアライメント技術により、オリフラや加飾コーナーに対しても高精度に位置合わせ

     (非接触外形アライメントなどにも対応)

    〇独自の平行出し機構により、マスクとウエハ間のプロキシミティギャップを高精度に設定

    〇Siウエハに限らず、反り基板・超薄基板・グリーンシート・表裏非接触搬送など多種多様なご提案が可能

     

     

  • プロキシミティ露光装置(MA-5301ML)
    マスクとウエハ間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定可能な全自動露光装置...

  • 〇φ300mm、又は、それ以上の大サイズウエハにも対応可能

    〇独自の同軸アライメント方式と高速画像処理技術を採用し、高精度なアライメントを実現

    〇マスクチェンジャを搭載可能、最大20枚のフォトマスクを自動交換

    〇ロードポートを最大3基搭載可能

     

  • 投影式露光装置(KS-7000)
    φ4インチのウエハを一括露光できる大面積投影露光装置...

  • 〇搭載レンズの交換により、多彩な用途に対応

    〇φ4インチのウエハが全面一括形成処理に最適

    〇高精細にはステップタイプも提案が可能

     

     


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor