高千穂商事

渋谷区広尾,  東京都 
Japan
http://www.takachiho.biz
  • 小間番号4208

ALD用有機金属系材料を始めとする半導体材料、エキシマレーザーガス、液体材料供給装置、可搬式除害装置を展示致します。

当社は自ら半導体材料を始めとした各種ガスを製造する一方で、グローバルネットワークを駆使して、地球規模であらゆるガスを調達し極少量から大量まであらゆるサイズの容器でどこにでもお届けできます。また、今回はレガシー半導体から最先端材料までをタイムトンネルに入れてみました。ぜひ当社ブース(Hall4-- 4208, 4210)にご来場を頂きまして、セミコンタイムトンネルTMをくぐり日本の半導体の歴史を感じてみませんか。

 

今回展示を行います主要製品を列記致します。

 

  • ALD用先端有機金属系材料

薄膜を形成させるためALD(Atomic Layer Deposition)用途に向けた世界最先端の有機金属系材料及びガスをご紹介致します。バブラーボトル(有機金属材料を入れる容器)を展示致します。
試作研究用50mlから製作が可能となりますので、ぜひご覧ください。
 

  • エキシマレーザー用ガス
    当社では、1997年よりエキシマレーザー用F2ミックスガスを販売しており、世界中から独自に調達ルートを確保したネオンによる混合ガスも承ります。
    貴社ご希望の濃度に合わせて製造致しますので、ご相談ください。
    (Kr/Ne , Ar/Kr/Ne , Xe/Ar/Ne , F2/Kr/Ne , F2/Ar/Ne , Xe/Ne , HCl/H2/Ne)

 

  • レガシー半導体用高純度ガス

半導体産業の草創期より、半導体製造向けの高純度ガスを供給してまいりました。特にイオン注入においては、1969年よりガス容器の交換業務を開始し、また、1981年には後の業界規格となる0.35L容器も取り扱いを開始しました。

  • SiC用(パワー半導体)窒素フリーガス
    SiC基板において,ドーパントとして作用する窒素を極限まで除去したZero Nitrogen (ZeN) グレード製品のご紹介。
    気相成長用高純度プロパン、エチレン、プロピレンなどのハイドロカーボン、ドーピング用各種シランなどの窒素フリー化に取り組み N2濃度として高純度プロパンC3H8 (残留N2濃度0.5ppm未満)、高純度モノシランSiH4 (残留N2濃度0.1ppm未満)を販売中。保証のみならず、残留濃度の実測値報告サービスも行います。
    さらなる低濃度製品の研究・開発にも取り組んでおります。
    窒素を始め、貴社で監視したい不純物をお教えください。

・液体材料気化システム
次世代プロセスに対応した液体材料気化システムをご紹介致します。
従来ある液体材料気化システムに加え、次世代の高温ヒーターチャンバー(Max300℃)を搭載させることで低蒸気圧材料の気化に大変有効です。
また、デュアルインジェクションヘッドは貴社内で分解・洗浄が自在に行えるタイプとなっています。

  • 11BF3 (11エンリッチボロン)
    国内企業で唯一、複数のソースから安定供給を受けており、価格競争力、供給安定性、在庫量に自信があります。貴社の装置に合わせた適切な容器サイズにて供給いたします。
     
  • ハザードスイーパーTM
    日本で唯一の可搬式局所排気用(モバイル)除害クリーナーです。特殊材料ガスの供給装置、機器の改造、点検、修理、廃棄など毒性ガスを使用する現場を安全にクリーンな環境を維持できます。可搬式のため、複数の同一ガス設備に対して1つのハザードスイーパーTMで対応できます。さらにミストスクラバーTM(当社製品)を接続することで可燃物を吸引した際の安全性を向上できます。
     
  • トリメチルアルミニウム(LED製造用 水素希釈ガス)

光学ドライブや通信機器にはレーザーダイオード(LD)が使用されています。これらLED,LD等の製造に使用されるトリメチルアルミニウムを、水素で希釈し混合ガスにしました。始めから希釈されていることにより、従来のバブリングによる供給に比べ安定した濃度で供給できることに自信があります。貴社製品の品質安定性向上に、ぜひご検討ください。

 

  • イオン注入用ガス国産SDS®  

       米国DOTの認証を受けた安全性の保証された容器にて、大気圧以下でインプラ用ガス貯蔵が可能なSDS®2,SDS®3を国内で独占製造しています。 

Note: Safe Delivery Source, SDS®, are trademarks of Entegris, Inc. in the U.S., other countries, or both.

 

セミコンジャパンに唯一のガスメーカーとして出展を継続しております。ぜひご来訪をお待ちしております。

下記URLより当社HPをご覧ください

        http://www.takachiho.biz/index2.html


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other