東海大学 桑畑研究室

Hiratsuka-shi,  Kanagawa 
Japan
http://www.u-tokai.ac.jp
  • 小間番号1232


大気圧プラズマを用いたピンポイント表面改質・表面加工 東海大学工学部電気電子工学科 桑畑周司研究室

1) 大気圧プラズマジェットを用いた半導体・金属・ガラスの表面改質(表面洗浄、親水化・濡れ性の向上)

2) 大気圧プラズマジェットを用いたガラス基板上の金属薄膜の除去


 プレスリリース


 出展製品

  • ガラス基板上の金属薄膜へのプラズマジェット照射
    写真の照射距離は、2 mmです。...

  • 空気中での金属へのピンポイント・プラズマ照射が可能です。
  • プラズマジェット照射後の金属薄膜表面の3D像
    (青色の部分は周りより低く、金属が除去されている)...

  • この時の除去レートは、約700 nm/sでした。
  • 空気中に噴出するプラズマジェット
    (長さ約15mm、直径約6mm)...

  • 空気中でのピンポイント・プラズマ照射が可能です。
  • 半導体へのプラズマジェット照射
    写真の照射距離は、2 mmです。...

  • 空気中での半導体へのピンポイント・プラズマ照射が可能です。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
Yes
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other, 半導体/Semiconductor