東京応化工業

川崎市中原区中丸子,  神奈川県 
Japan
http://www.tok.co.jp
  • 小間番号4735

「感動を創造するtokの微細加工技術」を展示しています。皆様の御来場をお待ちしています。

 東京応化は、常にM&E(電子材料と製造装置)の両面から開発を進め、高付加価値化の実現を目指し、半導体前工程用に使用する電子材料(次世代リソグラフィ用レジスト・レジスト付属薬品等)、BUMP&MEMS等厚膜をターゲットとした後工程用製造装置・電子材料を製品化しております。

 次世代リソグラフィ用レジストは、ArF液浸用レジスト、誘導自己組織化レジスト及びEUV用レジストを展示。また、高解像対応はもとより、厚膜のニーズに対応した i線、KrFレジストや各種補助材料について製品を取り揃えております。

 半導体後工程用めっき用フォトレジストとして、高膜厚・高感度・高解像度・高剥離性を特徴とした製品、ポジ型感光性絶縁膜。MEMS用途として、フィルム型永久膜材料等の電子材料を取り揃えています。

また弊社材料を中心にMEMS,化合物基板や特殊基板にも対応した高段差へのコンフォーマル塗布を実現するスピンコーター及び現像装置を取り揃えております。その他にレジスト除去、ディスカムプロセス等に適用可能なダウンストリームタイプによるアッシング装置も各ウエハサイズに対応し取り揃えております。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor