LayTec AG

Berlin, 
Germany
http://www.laytec.de
  • 小間番号4603

LayTecは薄膜作製やその他のプロセスにおいて、世界的に主要な測定機器メーカーです。LayTecの装置はオプトエレクトロニクス、太陽電池、ディスプレイ、オプティクス、SEMI、フラッシュメモリー等の生産過程や自動車工業等、さまざまな領域にで使用されております。
LayTecの装置組み込み型測定装置は製膜中に様々な観測がリアルタイムで可能で、その場観測だけでなく、インライン装置等のようにチャンバー間を基盤が移動するタイプの装置にも取り付け可能です。
付属のソフトウエアとの連携で、統計プロセス制御や装置間プロセス制御にも対応しており、Fab内での工程や膜質の最適化、生産効率、歩留まりの向上、コスト削減に貢献いたします。
また、LayTecの測定機器は新材料やプロセス、デバイス構造の研究開発を行う研究機関でも非常に重要なツールとなっております。

 

 


 出展製品

  • EpiTT UV
    LayTecのEpiTT UVは深紫外域のリフレクトメーターで、膜厚測定に特化したモデルで、200オングストローム以下の膜厚でも測定が可能です。...

  • LayTecの最新リフレクトメーターのEpiTT UVは最先端技術を用いた固体物性の紫外域ライトソースを使用し200オングストローム以下の膜厚でも測定を可能としました。405 / 365 / 280 nmの3波長を使う事により、3D-NANDメモリーやロジック回路、MEMS、小型の光学製品等のデバイス生産における厳しい品質基準に適合した製膜やエッチングプロセスにおいて適した、その場観測モニターです。
    詳しくはhttp://www.laytec.de/logic_memory/をご参照下さい。

     

     

     

  • EpiTT
    EpiTT combines measurements of temperature and reflectance up to three wavelengths in one tool....

  • LayTec offers multi-head configurations of tools in the EpiTT family, which are specifically designed for multiple wafer ring reactors. These models have two (EpiTwin TT) or three (EpiTriple TT) optical heads for taking temperature and reflectance measurements at independent positions. Nearly all the LayTec EpiTTs can be upgraded to multi-head systems.
    Find out more on http://www.laytec.de/epitt/

     

  • EpiCurve® TT
    EpiCurve® TT combines wafer curvature measurements with emissivity corrected pyrometry and growth rate/thickness measurements by three-wavelength reflectance....

  • This tool will help you avoid cracks, achieve flat wafers and control temperature homogeneity. Every curvature tool can be equipped with Advanced Resolution (AR) curvature measurements for wafer bow asphericity control (EpiCurve® TT AR).
    LayTec offers combinations of EpiCurve® TT with the products of the EpiTT family: EpiCurve®Twin TT has a total of two EpiTT heads and EpiCurve®Triple TT has three EpiTT optical heads to measure temperature and reflectance at independent positions.
    Find out more on http://www.laytec.de/epicurve/

     


 追加情報

初出展/New Exhibitor
Yes
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor