東フロコーポレーション

日野市南平,  東京都 
Japan
http://www.tofco.jp
  • 小間番号2828

私たちは流量計測器の専門メーカー「株式会社東京フローメータ研究所」として1973年に創立、以来30年を越えて流体制御技術をコアとする計測器及び周辺機器、熱交換器、環境機器など、多様化する産業界のさまざまニーズに応えてまいりました。
本展示会は、半導体プロセスの更なる効率化、品質改善に貢献する各種製品をご紹介いたします。


 出展製品

  • FCV-C
    半導体洗浄装置の薬液・純水流量管理に最適な、流量フィードバック制御バルブ...

  • 特長

    • 外部からの流量計信号入力によりフィードバック制御
    • 全開から全閉まで0.3秒の応答性
    • 高性能ステッピングモータ採用
    • ストローク:Max.1.5mm
    • 分解能:Max.4800
    • 広い制御範囲(1:50)
    • コンパクト設計
    • Multi通信(Modbus RTU搭載、最大32連)

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor