東朋テクノロジー

稲沢市,  愛知県 
Japan
http://www.toho-tec.co.jp
  • 小間番号3030

東朋テクノロジーは薄膜ストレス測定装置の実機を展示致します。是非ご覧ください。


 出展製品

  • 薄膜応力測定装置FLXシリーズ
    シリコンウェーハなどの基板上に膜付けをすると、基板と薄膜との物理定数が異なるために、ストレスが生じ基板が変形します。 均一に膜付けされた薄膜による変形は、基板の反りとして現れるため、薄膜応力測定装置FLXシリーズはこの反り(曲率半径)の変化量からストレスを測定することができます ...

    • 様々な基板、膜種に対応(波長の違う2種類のレーザーを自動選択)
    • プロセス環境下でのデータ(昇温・降温機能により-65℃から500℃までの測定環境、もしくはステージローテーションモデル(室温測定のみ))
    • シンプルで高機能(WINDOWS-OSを活用、オリジナルソフトウェアで簡単測定)
    • 大学・ラボなどで研究用として多く活用(低コスト、省スペース)
    • 4機種のラインナップ
    • 測定設定(スキャンポイント・低反射アラーム・弾性係数・基板厚・基板サイズ・応力単位・基板タイプ・レーザー選択)
  • 光干渉式膜厚測定装置 TohoSpec3100
    TohoSpec3100は、ナノメトリクス社より技術移管された光干渉式膜厚測定装置です。 多数の納入実績を誇る業界標準機で、測定再精度2Å以下を実現、リニアアレー受光素子を採用しています。 高信頼性、高精度、高速をコンセプトとしており、多層膜同時測定や光学定数(n,k)測定に利用可能なモデルです。 ...

  • 大学や企業の研究所など、最先端のR&D分野において利用出来る特徴を兼ね備えています。

     

    • スペクトル解析ソフトにより、多層膜(通常3層まで)の同時測定,光学定数(n,k)の測定が可能。

       

    • 各種膜特性に適合したパラメータの設定ができ、より豊富な各種膜構造の膜厚測定が可能。

       

    • プロセスに適合した特殊膜測定用のプログラム設定が容易に実現可能。

       

    • 米国マイクロソフト社のWindows ®7対応

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor
上記以外の分野/Other categories
LCD