東横化学

川崎市中原区市ノ坪,  神奈川県 
Japan
http://www.toyokokagaku.co.jp
  • 小間番号4521

弊社はトータルガスマネジメントのコンセプトに基づき、バルク及び特殊材料ガス、液体材料/薬品等の供給設備関連から排ガス処理装置まで、お客様のニーズに沿った製品とエコロジーなシステムを国内外にご提供しております。


 出展製品

  • 排ガスリサイクルシステム
    アルゴンを始めとする希ガス(He、Ne、Xe)を高効率に回収・精製するガス回収装置を展示します。コンパクトな為既設装置に容易に敷設でき、生産コストの削減につながります。幅広い流量、濃度、圧力範囲に対応しており、お客様に合ったシステムをご提案します。...

  • ■ヘリウム回収装置
    【特徴】
    ・高精度な濃度管理
    ・高回収率(≧95%)
    ・高速拡散
    ・幅広い流量、濃度範囲
      (5~95%)に対応
    ・低圧から高圧(30MPa)まで対応

    ■アルゴン回収装置『ArgonØ』
    【特徴】
    ・既設装置に敷設可能
    ・回収率が高くかつ高純度
    ・ケンブリッジ大学と共同開発した燃焼反応技術
    ・He等の希ガスにも対応

  • 液体材料供給装置
    送液圧コントロールによる安定供給を実現します。...

  • 液体供給システム

    <特徴>

    ・遠隔操作対応

    ・重量/ 圧力管理システム

    ・送液圧力を一定にコントロール

    ・脱気機能

    ・液量管理による自動切替方式

    ・ロードセル、超音波式センサーによる液量管理により、自動切替が可能。

    ・液量管理による自動補充方式

    ・通いタンクと受入タンクの2 つの薬液用タンクを収納し、受入タンクの液面と圧力を一定に保つよう、通いタンクより補充することが可能。

    <システム特徴>

    最適化された温調システムと圧力制御システムと液面管理システムの組み合わせにより、送気ガス濃度を安定化。

    <対応流体>

    TiCl4, (C2H5)2Zn, SiCl4, POCl3

  • SiC基盤活性化アニール装置
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  • 【SiC基板活性化アニール装置 】

    イオン注入後に1200~1900℃の常圧下で活性化アニール(Ar)を行う装置

    【SiC基板超高温熱処理装置】

    700~1400(1700)℃の常圧下で各種アニール、各種酸化および窒化処理を行う装置

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  • 漏液センサ・液検知センサ
    光学式漏液センサで、漏れからの復旧作業は簡単拭くだけ...

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  • FOUP/キャリア洗浄機
    Brooks社 FOUP洗浄機...

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 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor

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