TOTO

港区,  東京都 
Japan
http://www.toto.co.jp/E_Cera/J_Cera/
  • 小間番号5103


TOTOブースでは、皆様のご来場を心よりお待ちしております。

TOTOは、最先端の半導体技術にセラミック製品で貢献しています。半導体プロセスでの技術課題を解決するためのソリューション提案をさせていただきます。

<出展製品> 高比剛性素材(SiSiC)/超低熱膨張素材/導電性アルミナ/超大型セラミックス/静電チャック(JR・クーロンともに高度な技術力)/エアロゾルデポジション法によるセラミックス膜/ボンディングキャピラリー(新材料、新技術の展示)


 出展製品

  • 高比剛性セラミックスSiSiC
    炭化珪素(SiC)の高比剛性・高熱伝導性の特徴を持ちながら、SiCにない緻密性を持ち、鋳込み製法・接合技術による複雑・大型品の対応が可能です。...

  • 当社SiSiCはSiCのマトリックスにSiCを複合させた高比剛性素材です。
    反応焼結結合による複雑中空形状が実現可能です。
    空隙のない素材の為、アウトガスが少なく、真空環境下での使用に適しています。

    主要用途
    ■ 超精密位置決めステージ用テーブル、ガイド軸等
    ■ ミラー台、ミラー基材
    ■ 精密検査、評価装置関連部材

  • AD法によるセラミックス膜
    常温環境下で製膜する非常に緻密なセラミックス膜...

  • TOTOが開発したエアロゾルデポジション(AD)法によるセラミックス膜は、
    セラミック微粒子を常温のガスに混ぜてエアロゾル状態にし、
    音速に近いスピードで機材に衝突させることで、緻密かつ高密着なセラミックス膜です。
  • 静電チャック
    TOTOの素材・設計・量産技術をいかし、お客様のウェハ温度コントロールのご要求にお応えします。...

  • TOTOの静電チャックは、材料からの一貫した管理により高い耐久性と低パーティクルを実現するとともに、
     実績に裏づけされた設計・解析能力と高精度加工により最先端の半導体プロセスに貢献しています。 
  • ボンディングキャピラリー
    卓越した微細加工技術によって、高精度に加工されたキャピラリーは、あらゆるボンディング条件化において、常に安定したボンディングを発揮します。 ...

  • TOTOが開発した高い耐久性を有する材料をベースに、高精度且つ均一な加工技術により、
    半導体組立工程における生産性向上を実現します。また、設計・解析能力及びエンジニアリングサポートによりお客様の技術課題の早期解決に貢献します。 
  • 3D造形(参考出展)
    【3Dプリンタによるセラミック部材の開発】 3Dプリンタを用いて、従来並みの特性を持たせることができます。...

  • デジタルデータによるものづくりで成形型が不要なため、複雑・中空形状など理想的な構造が実現可能です。

    また、製作期間が短く、設計変更が簡単です。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor