ナガセテクノエンジニアリング

横浜市港北区新羽町,  神奈川県 
Japan
  • 小間番号5336


ナガセテクノエンジニアリング㈱は最先端の技術を活かしお客様の様々なニーズにおこたえします。

米国H-Square社・ePAK社製品:半導体/MEMS/LED/フラットパネル/ディスク/バイオ/フォトリソグラフィー/太陽電池など、各業界向に、ご用途とプロセスに合う基板搬送用ハンドリングツール・装置及び各種カセットを出展いたします。脆弱な極薄ウエハにも対応可能な、卓上型の枚葉移載装置や非接触型搬送ツールのデモンストレーションも行います。

興研社製オープンクリーンシステムKOACH:オープンな環境でISOクラス1の清浄空間を実現します。卓上タイプを展示デモいたします。清浄度をご体感下さい。

液体のコーターである、Micro Mist Coater 静電塗布装置を展示いたします。静電気力を利用して液体を微細化する技術を応用し、精度の高い成膜技術をご紹介いたします。

 

 


 出展製品

  • HVA社 高真空・超高真空ゲートバルブ 11000シリーズ
    HVA社の代表的なゲートバルブ 11000シリーズを展示いたします...

  • 高真空・超高真空ゲートバルブ  11000シリーズ

    • フランジタイプ : KF、ISO-F、ISO-K、CF-F、JIS、ASA
    • フランジ径 : 5/8"(DN16mm) ~ 32"(DN800mm)
    • メンテナンスサイクル : 100,000回

     

    <その他ラインナップ>

    • ステンレス製ゲートバルブ   21200シリーズ/21700シリーズ/71000シリーズ
    • アルミニウム製ゲートバルブ  81000シリーズ/83000シリーズ
    • 矩形スリットバルブ        28200シリーズ/88200シリーズ
  • H-Square社・ePAK社 各種基板搬送用装置・ツール・カセット
    ウエハ、フォトマスク等の様々な基板搬送用ハンドリングツール・装置及び保管・プロセス用各種カセットを出展いたします。ウエハ用の非接触型搬送ツール(Breeze Wand)のデモも行います。...

  • 米国H-Square社製品

    ・ウエハ移載機

    ・ウエハアライナー

    ・メカニカルピック

    ・メタルカセット

    米国ePAK社製品

    ・樹脂カセット

  • 静電塗布装置 液体コーティング装置
    静電塗布装置 「Micro Mist Coater 静電塗布装置 PDR-04型」 を展示いたします。この装置は静電気力を応用した精密な液体コーティング装置です。 私共では小型のテスト機から大型の生産装置まで、お客様のご要望にお応えした装置をご提案しています。横浜センターにデモルーム完備! 液体のコーティング(塗布)でお困りの方は是非私共のブースまでお越しください。...

  • 静電塗布装置 「Micro Mist Coater 静電塗布装置 PDR-04型」 を展示いたします。この装置は静電気力を応用した精密な液体コーティング装置です。

    ・高い液体使用効率(液剤使用量削減)

    ・高粘度液剤の塗布が可能

    ・分散体液剤の塗布

    ・凹凸基材へのコンフォーマル成膜

    ・高い膜厚精度

    ・クリーンな環境で処理可能

    私共では小型のテスト機から大型の生産装置まで、お客様のご要望にお応えした装置をご提案しています。横浜センターにデモルーム完備!

    液体のコーティング(塗布)でお困りの方は是非私共のブースまでお越しください。

     

  • H-Square社 AWM型自動ウエハ枚葉移載装置
    カセット間のウエハを移載するシンプルかつコンパクトな卓上型ソーターです。 生産工程、検査工程、研究、テストアッセンブリ、開発等向けに設計されています。 操作は使いやすいタッチスクリーン。...

  • <特長・仕様>

    ・省スペース(卓上型)

    ・SEMI規格ウエハ、厚ウエハ、薄ウエハに対応

    ・タッチスクリーンにより、あらかじめ登録したレシピモードもしくは手動モードの選択が可能

    ・エンドエフェクタにはウエハマッピングセンサ及び緊急EMOスイッチを搭載

    ・OCR読取/整列機能は搭載していません

    ・電源:100-120VAC、24DVC

    ・サイズ:高693mm/奥行770mm/幅564mm

    ・重量:36Kg

  • 興研社製オープンクリーンシステム スタンドコーチ C645-F
    オープンな環境でISOクラス1の清浄空間を実現します。 給排気の配管が必要なく、キャスター付きでレイアウト変更も簡単です。 スタンドタイプを展示デモ致します。清浄度をご体感下さい。...

  • 本体外形寸法 W748xD289xH1568
    吹出開口面寸法 W645xH645
    重   量 約101Kg/台
    清浄空間 1800mm以内(開口面間距離)
    電   源 単相100V 50Hz~60Hz
    定格消費電力 270~540W/台

     


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor