新潟大学 安部・寒川研究室

Nishi-ku,  Niigata 
Japan
http://mems.eng.niigata-u.ac.jp/
  • 小間番号3807

IoTの時代におけるセンサの用途拡大に対応した新センサやセンサ用の新材料のMEMS加工技術についてご紹介します.

【センサの開発例】

・半導体MEMSを用いた視覚・触覚・冷温覚コンボセンサ :製品の感性的な質感を客観的に数値化するセンサを開発しています.

・非接触(非破壊)液体濃度センサ :機械や工場の自動化のための水やオイルの管理を行う安価なセンサの開発をしています.液体に限らずにコンクリートや土壌の水分管理への適用も期待されます.

・ワイヤレスガス・匂いセンサ :ガラスなどの配管中に配置し配管の外部から信号を取得できる水晶振動子式ガスセンサの開発をしています.

 

【新しいMEMS加工技術】

・熱アシスト型反応性イオンエッチング技術 :本技術では,短時間で300度以上に昇温可能な特殊なステージの設置で通常のRIE装置を難加工材の微細加工装置へと性能向上させることが可能です.チタン合金,タンタル,ニオブおよびモリブデンなどの特殊金属の微細加工を可能とし,機械的かつ化学的にタフなセンサ・デバイスなどの部品の開発が可能になります.


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS