日本電子

千代田区大手町,  東京都 
Japan
http://www.jeol.co.jp
  • 小間番号4220

簡便に観察可能な卓上走査電子顕微鏡による観察デモンストレーション、さまざまな理科学・計測機器や電子ビーム描画装置などの装置紹介及びそれらの機器を用いた、データ解析事例の紹介などを行います。


 出展製品

  • JCM-6000Plus NeoScope
    簡便に観察可能な卓上走査電子顕微鏡です。...

  • 新感覚の操作画面とタッチパネルで直観的操作を実現しました。さらに低真空モ-ドは標準搭載でEDSを装着可能など、機能豊富な卓上SEMです。
  • JBX Series 電子ビーム描画装置
    次世代デバイス開発から最先端ナノテクノロジー研究まで広範囲に使用可能な装置です。...

  • JBX-6300FS 電子ビーム描画装置

    加速電圧100kV、直径2.1nmのビームを自動調整する電子光学系により、8nm以下(実績5nm)のパターンが簡単に描画できます。
    更に、9nm以下のフィールド接合精度、重ね合わせ精度を実現したコストパフォーマンスに優れた描画装置です。

    JBX-9500FS 電子ビーム描画装置

    スポットビーム描画装置において世界最高レベルのスループットと位置精度を兼ね備えた加速電圧100kVの装置です。最大試料サイズは300mmφウエハー、6型マスクまで対応し、ナノインプリント、フォトニックデバイス、通信デバイスなどの様々な分野の研究・開発から生産まで対応します。

    JBX-3200MV 電子ビーム描画装置

    28nm~22/20nm ノードマスク ・ レチクル制作用可変成形電子ビーム描画装置です。
    最先端技術で高速、高精度、高信頼性を実現しています。加速電圧50 kVの可変成形ビームとステップ&リピートステージ方式を基本とした描画装置です。

  • JSM-7800FPRIME ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡
    新開発の超高分解能ジェントルビームを搭載することにより世界最高峰の分解能を実現しています。...

  • JSM-7800FPRIMEは新開発の超高分解能GENTLEBEAM™ (GBSH) を搭載することにより世界最高峰の分解能を実現しています。また、インレンズショットキーPlus 電界放出形電子銃により、最大照射電流は200nAから500nAに向上しました。
  • JSM-IT300HR 走査電子顕微鏡
    新開発の高輝度電子銃とレンズ系を搭載したことにより 驚きの高画質観察と高感度・高空間分解能を実現しました。...

  • JSM-IT300HRはJEOL InTouchScopeシリーズのニューモデルです。
    新開発の高輝度電子銃とレンズ系を搭載したことにより、驚きの高画質観察と高感度・高空間分解能を実現しました。
    InTouchScopeシリーズで好評の快適な操作性はそのままに、優れたパフォーマンスを発揮する最新鋭の走査電子顕微鏡です。
  • メモリセル解析システム
    断面SEMと光学顕微鏡を用いたチップレベルでの解析が可能です。...

  • 断面SEMと光学顕微鏡を用いたチップレベルでの解析が可能です。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other