ニューフレアテクノロジー

横浜市磯子区新杉田町,  神奈川県 
Japan
http://www.nuflare.co.jp/english/
  • 小間番号5111

最先端の半導体製造装置を通じて、半導体産業と人類、社会の発展に貢献します。

 

MBM-1000

高精度5nm Nodeデザインルール用マルチ電子ビームマスク描画装置

 

SRM-1000

高精度5nm Nodeデザインルール用高解像型電子ビームマスク描画装置

 

NPI-8000
高生産性と高性能を兼ね備えた最先端マスク検査装置
検査時間85分/枚,多品種先端マスク検査可能
近未来に要求される機能拡張が容易なIntegrated Multi-Function 設計

 

HT2000FD
8μm/min.の成長速度で≧100μmのエピ膜連続成長が可能な高品質・高生産性200mm 枚葉式 Si Epi 装置

 

EPIREVO™ G8
高生産性で高輝度LEDの生産に最適な200mm 枚葉式GaN-on-Si用MOCVD装置                                   150/200mmパワーデバイス(HEMT)向け枚葉式GaN-on-Si用MOCVD装置

 

EPIREVO™ S6
低欠陥・高速成長でSiCパワーデバイスの低コスト生産を実現する150mm 枚葉式 SiC Epi 装置


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other, パワー半導体/Power Semiconductors