ノベリオンシステムズ

Kyotanabe-city,  Kyoto 
Japan
http://www.novelion-sys.com/
  • 小間番号5815


先進のプラズマ技術で微細加工の未来を拓く!

 

 当社は,核融合プラズマ加熱装置用の大電流負イオン源技術を起源とする,技術開発型ベンチャー企業です.

 近年,各種センサー素子や高周波回路素子の利用の広がりに伴い,圧電薄膜や磁性薄膜など,従来のシリコンプロセス装置では加工困難な材料にも対応できる,微細加工技術が求められています.当社では,このような新規の技術要求に応えるべく,酸素や各種の活性ガスが使用できる,ECR放電型の高密度プラズマ源および大電流イオンビーム源の開発を進めています.

 SEMICON Japan 2016では,以下の製品を展示します.
(1) 反応性イオンビームミリング装置に適用できる,
      『ECRラインビームイオン源(ELBS-150)』
(2) 高速エッチング装置や活性プラズマ処理装置にも適用できる,
      『高出力ECRプラズマ源(EPS-120)』
(3) 酸/窒化薄膜形成プロセス装置にて運用実績がある,
      『小型ECR原子状ビーム源(ERS-35)』 

 


 出展製品

  • ECRラインビームイオン源(ELBS-150)
    反応性イオンビームミリング装置に適用できる,ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型のラインビーム・イオン源です....

  • 【特長】
    ・独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム.
    ・新開発の大型同軸導入端子(7/16型)による大電力マイクロ波駆動.
    ・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング.
    ・新開発の長寿命ビーム電極.


    【装置仕様】
    ・ビームサイズ : 幅150 mm
    ・ビームエネルギー : 100~2,000 eV
    ・ビーム電流密度 : 最大 10 mA/cm2
    ・接続同軸コネクタ規格 : DIN 7/16
    ・適合マイクロ波周波数 : 2.45 GHz
    ・許容マイクロ波電力 : 最大500 W
    ・冷却方式 : 水冷


    【応用例】
    ・MEMS構造体の高速ミリング形成.
    ・磁気ヘッドのミリング加工.
    ・高周波回路のトリミング調整 など.

  • 高出力ECRプラズマ源 (EPS-120)
    微細加工装置に適用できる,ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型の高出力プラズマ源です....

  • 【特長】
    ・独創的な磁石構成による大容積ECR磁場.
    ・強力な冷却システムによるkW級大電力動作.
    ・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング.
    ・複数配置により大面積プラズマを実現するモジュールコンセプト.


    【装置仕様】
    ・接続真空ポート口径 : Φ120 mm
    ・接続導波管規格 : WR340
    ・適合マイクロ波周波数 : 2.45 GHz
    ・許容マイクロ波電力 : 最大2,000 W
    ・冷却方式 : 水冷


    【応用例】
    ・ドライエッチング装置やアッシング装置のソースパワーとして.
    ・反応性イオンビーム加工装置(RIBE)のイオン源として.
    ・イオン窒化・酸化装置やDLC成膜装置のプラズマソースとして.

  • 小型ECR原子ビーム源 (ERS-35)
    MBE等の超高真空装置にも適応できる,ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型の小型原子ビーム源(ラジカル源)です....

  • 【特長】
    ・完全メタルシールにより超高真空装置に対応.
    ・取り扱いが容易な同軸ケーブル給電.
    ・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング. 
    ・ラジカルビームの発生に優れた,バイアス電極付きの誘電体引出グリッド.
     
    【装置仕様】 
    ・接続真空ポート規格 : ICF70 
    ・同軸コネクタ規格 : N型 
    ・適合マイクロ波周波数 : 2.45 GHz 
    ・許容マイクロ波電力 : 最大 100 W 
    ・冷却方式 : 水冷 

    【応用例】
    ・MBE装置の窒素/酸素ラジカル源として.
    ・表面クリーニングのための原子状水素源として.


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS, その他/Other, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor
上記以外の分野/Other categories
高周波回路素子,センサー素子