ハーモテック

甲府市住吉,  山梨県 
Japan
http://www.harmotec.com
  • 小間番号2021


薄物・特殊ウェーハ(極薄・反り・歪み)搬送に関して15年以上の歴史と多くの実績により、顧客の問題解決にお役立ちします。

今回、新たに開発した4種類のKUMADEと、顧客仕様に製作された数多くのウェーハ移載機(2~12インチ)、ウェーハドライクリーニング装置、ウェーハマクロ検査装置を展示します。

新たなKUMADEのREシリーズは極薄ウェーハやダイシング後のチップ搬送、また検査ステージとしての使用が可能です。

UTシリーズは、消費流量の効率化により、従来品より更に薄型化が可能となったKUMADEを展示会します。

ウェットシリーズは水中及び大気中でのでのウェット非接触搬送を可能にしました。

SNシリーズは非接触ハンドの極薄化を実現し、カセットアクセスカセットへの挿入クリアランスが向上します。

KUMADEを搭載した装置関連では、様々な顧客仕様に基づいて製作された、2~12インチまでの数多くの移載装置や、ウェーハ歩留向上の為のウェーハクリーニング装置、ウェーハマクロ検査装置などを展示いたします。

反り歪みのある特殊製品、ハンドリングの困難なMEMSウェーハ、FANOUTウェーハ、両面プロセスの有るウェーハ等、に関して数多くの実績と、さらなるチャレンジ精神でお客様へのお役立ちをしてまいります。

当日は技術担当者も来場しておりますので、サンプルウェーハを持ちこまれてのデモ対応もさせていただきます。


 出展製品

  • 新型 KUMADE 及びウェーハソーター、クリーナー、マクロ検査装置
    新たなKUMADEのREシリーズは極薄ウェーハやダイシング後のチップ搬送、また検査ステージとしての使用が可能です。...

  • 新型KUMADE

    1、REシリーズ

     極薄ウェーハ検査ステージ用 

     極薄チップ搬送用

     極薄ウェーハロボット搬送用エンドエフェクター

    2、ウェットシリーズ

     水中/大気中 非接触搬送用エンドエフェクター

    3、SNシリーズ

     薄型非接触エンドエフェクター

    4、UTシリーズ

     薄型ピンセット

     薄型エンドエフェクター

    ウェーハソーター : 様々な顧客仕様に基づいて製作された、2~12インチまでの数多くのソーターの展示

    ウェーハコインスタック移載装置 : 様々な顧客仕様に基づいて製作された、4~12インチまでの数多くの移載装置の展示

    ウェーハクリーナ : ウェーハパーティクル除去クリーナーの展示

    ウェーハマクロ検査装置 : ウェーハ欠陥マクロ検査装置の展示

    反り歪みのある特殊製品、ハンドリングの困難なMEMSウェーハ、FANOUTウェーハ、両面プロセスの有るウェーハ等、に関して数多くの実績と、さらなるチャレンジ精神でお客様へのお役立ちをしてまいります。

    当日は技術担当者も来場しておりますので、サンプルウェーハを持ちこまれてのデモ対応もさせていただきます。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor