ハイデンハイン

千代田区,  東京都 
Japan
http://www.heidenhain.co.jp/
  • 小間番号2921


半導体製造に適したハイデンハインの高精度位置決め技術をご紹介します。

ハイデンハインの半導体製造・検査装置向けソリューションとして、リニアエンコーダ「LIP 200シリーズ」、「LICシリーズ」、「LIDA 400シリーズ」、角度エンコーダモジュール「MRPシリーズ」、高精度長さゲージ、そして真空対応エンコーダなど、お客様の幅広いニーズに応えた製品を各種出展いたします。


 出展製品

  • 超高精度インクリメンタルオープンタイプリニアエンコーダLIP 200シリーズ
    超高精度で、かつ高い位置安定性を実現したインクリメンタルリニアエンコーダ 高速制御と長尺測定に対応し、各社高速シリアルインターフェースも搭載可能...

  • OPTODUR位相格子付き Zerodur ガラスセラミック

    信号周期 0.512 μm

    精度等級 ~± 1 μm

    最高分解能 31.25 pm

    最大測定長 3040 mm

    インターフェース EnDat 2.2、1VPP、ファナック、三菱

  • 高精度アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ   LIC 4100シリーズ
    高精度および長尺計測用アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ 各種高速シリアルインターフェース対応...

  • METALLUR アブソリュートコードトラック付

    ガラスセラミック、ガラス、またはスチールスケールテープ

    精度等級 ~± 1 μm

    最高分解能 1 nm

    最大測定長 28m

    最高走査速度 10 m/s

    インターフェース EnDat 2.2、ファナック、三菱、パナソニック、安川

  • オープンタイプリニアエンコーダLIDA 400シリーズ
    長尺計測用インクリメンタルオープンタイプリニアエンコーダ...

  • METALLUR 目盛格子付ガラスセラミック、ガラス、またはスチールスケールテープ

    精度等級 ~± 1 μm

    推奨分解能 1 μm~0.05 μm

    最大測定長 30 m

    インターフェース 1VPP、TTL

    ステータスLED搭載

  • 角度エンコーダモジュール MRPシリーズ
    高精度のベアリングとエンコーダを一体化した角度計測モジュール製品...

  • 貫通型の中空シャフトを搭載、

    シャフト径の種類10mm、35mm、100mm

    アブソリュートタイプとインクリメンタルタイプあり

  • 長さゲージMT 1281MW
    12mmの測定範囲全体において先端プローブがワークに作用する力を0.01N~0.07Nと極めて小さくし、外力が加わることで変形してしまうワークでも高精度計測を実現できる。...

  • DIADUR位相格子付き Zerodur ガラスセラミック

    信号周期 2 μm

    システム精度 ± 0.2 μm

    測定範囲 12 mm

    繰り返し性 0.03 μm

    インターフェース 1VPP


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, その他/Other, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor