浜松ホトニクス

磐田市下神増,  静岡県 
Japan
http://www.hamamatsu.com
  • 小間番号5408


光除電(静電気除去)とステルスダイシングに関する最新の動向を紹介させていただきます。 皆様のお越しをお待ちしております。

従来困難であった対象物や環境での除電も確実に行うことができる「光除電」のさまざまな特長と、ブレードダイシングを超える導入メリットを実現した「ステルスダイシング」の新機能を詳しくご紹介させていただきます。


 出展製品

  • 静電気除去装置 PhotoIonBar
    大気中におけるさらなる除電性能向上を実現...

  • 従来のコロナ放電式静電気除去装置は、放電現象によりイオンを生成し、生成されたイオンを送風で対象物に送ることで静電気を除去していましたが、PhotoIonBarは極短波長の光を照射するだけで大気を直接イオン化し静電気を除去します。

    無風でクリーンなメンテナンスフリーの効果的な静電気除去を実現します。

  • 静電気除去装置 VUV Ionizer
    今まで不可能であった真空中での除電を実現...

  • 従来の静電気除去装置は、そのイオン化及び除電方法により真空中での除電が今まで不可能でしたが、VUV Ionizerは残留分子を極短波長の光により直接イオン化するため、真空中での除電が可能になりました。

    不活性ガス・ドライエアといった特殊環境下での除電も可能です。

  • ステルスダイシング技術
    ブレードダイシングを超える品質・速度を実現するレーザダイシング...

  • ステルスダイシングは、対象物の内部にレーザを集光してウェーハをチップ状に小片化するダイシング技術です。

    完全ドライプロセス・高品質(高い直進性・チッピングレス)・切削ロス=ゼロに加えて、性能向上によるさらなる高速ダイシング(タクトアップ)でブレードダイシングを超える導入メリットを実現しました。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
その他/Other
上記以外の分野/Other categories
電子機器