ブイテックス

ひたちなか市,  茨城県 
Japan
http://www.vtex.co.jp
  • 小間番号4828


真空バルブ設計・製造のブイテックスです。 新構造のバルブを展示します。従来品と何が違うのか、実機と展示でご確認ください。

パーティクル・振動・バルブサイズの大型化などバルブへの要求レベルが上がってきています。
従来品では対応できない要求に応える新構造バルブについて展示します。
また、圧力制御バルブは、他社製バルブとは違い、コンダクタンス0まで制御可能です。
それにより、プロセスガスの使用量を削減したり、プロセス時間の短縮が期待できるかもしれません。

展示バルブ
・新構造スリットバルブ
・APCバルブ
・フローコントロールバルブ

当社ブースにて、お待ちしております。


 出展製品

  • 新構造スリットバルブ
    低パーティクル・低振動を追求しました。...

  • 従来品の弁体軌跡を見直すことで、低パーティクル・低振動を実現します。

     

  • フローコントロールバルブ
    ベント時の急激な圧力上昇を抑えます。...

  • 全閉から全開までにかかる動作時間とコンダクタンスを調整して急激な圧力上昇を抑えます。
  • 新構造スリットバルブ(大型)
    ますます大きくなる、フラットパネルなどの大型基板に対応します。...

  • 従来品では対応が難しかった、大口径(G8以上)バルブを提供します。
  • APCバルブ
    圧力コントロール時にコンダクタンス0にすることが可能です。...

  • コンダクタンス0までを調整範囲とすることで、圧力上昇までの時間短縮や使用ガスの削減が期待できます。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
LED/solid state lighting, MEMS, 太陽光発電(PV)/Photovoltaic, プラスチック/有機/プリンテッドエレクトロニクス/Plastic/organic/flexible electronics, パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor