フィルメトリクス

横浜市港北区新横浜,  神奈川県 
Japan
http://www.filmetrics.co.jp
  • 小間番号1413


膜厚測定・段差測定のフィルメトリクスです

   光学式膜厚測定システムのご紹介   

光学式膜厚測定システム - 非接触で瞬時に膜厚と光学定数の測定が可能

各種膜の測定に対応 - 膜厚酸化膜、窒化膜、レジスト、ポリインド、化合物半導体など各種半導体材料の膜厚測定から、Si基板の厚さの測定まで対応

豊富なラインナップ - 卓上式、顕微鏡式、面内分布を確認できる自動マッピング式までラインナップ

世界No.1の導入実績 - 全世界で5,000台以上の導入実績


 出展製品

  • F50 自動マッピング膜厚測定システム
    4インチから450mmまでのシリコン基板に対応し、任意に指定された1点から数百点までの測定ポイントを簡単な操作で自動高速測定可能な自動膜厚マッピング測定システムです。 結果を3D画像として表示することで、数値だけでなく視覚的に膜厚を捉えることが可能です。測定ポイントの任意設定に加え、幅広く豊富なラインナップから測定対象の膜厚や膜の特性などのご要望に応じた柔軟な対応が可能です。...

  • <操作性と性能>

    基本的なパソコンの知識だけでマウスで簡単に測定可能。独自の解析手法により多層膜測定も可能です。

    <マッピング>

    サンプルの複数箇所を任意選択することで高速に膜厚分布を検出するので、膜厚を2D3D画像として視覚的に確認できます。    

    <スピード>

    300mmウエハー上の25ポイントの測定を21秒で完了します。

    <サイズ>

    サンプルサイズの大きさに応じた450mm、300mm、200mm、6インチ、4インチ、3インチ、2インチチャックを選択可能。
    大型ガラス基板に対応したオプション製品もございます。

    <ラインナップ>

    膜厚や膜の特性に応じて、紫外光、可視光、近赤外光の測定領域に対応出来る豊富な商品ラインナップの中から選択可能です。     

  • Profilm3D 非接触光学式段差計 オプティカルステップハイト
    既に世界中のお客様に4000台以上ご利用頂いているフィルメトリクス社の膜厚測定システムに、光を透過しない不透明膜や金属膜の段差を測定できる非接触式光学式段差計「プロフィルム3D」が新たなラインナップとして登場致しました。...

  • <特徴>

    ・50nm-10㎜の段差の測定

    ・光干渉の原理を用いた非接触測定

    ・コンパクトなフットプリント

    ・マウス操作でオペレーションが容易

    ・10倍レンズ使用時2㎜角のワイドな視野

    ・デジタルズーム併用で様々な測定条件に対応

     

    <測定対象>

    ・ウエハ表面やパターン、MEMS等

    ・フラットパネル用各種光学フィルム、ITO

    ・光学コーティング

    ・医療用鋼製小物

  • F40 顕微鏡式膜厚測定システム
    お手持ちの顕微鏡に接続してすぐに膜厚測定可能な顕微鏡膜厚測定システムです。 安価でありながら十分な性能を備えており、パソコンのモニターで顕微鏡観察画面を確認しながら測定できるので機能性と利便性に優れております。 弊社が提供する紫外領域、近赤外領域の両方に対応した膜厚測定専用顕微鏡ユニットを使用すれば、広い範囲での膜厚測定が可能になり、活用の幅が広がります。...

  • <微小測定>

    最小1ミクロンサイズ(100倍の対物レンズ使用時)に対応、サンプルの微細領域の膜厚測定に最適です。    

     

    <設計>

    お手持ちの顕微鏡に接続して測定出来るので、特殊顕微鏡を追加購入する必要性がありません。ほとんどの顕微鏡にビデオカメラを装着する要領で取り付けできるのでコンパクトにご使用頂けます。


    <操作性>

    コンピューターのモニター上で確認できるカラービデオカメラを内蔵しており、測定箇所をモニターで確認しながら膜厚、屈折率の測定が可能です。

        

    <高精度測定>

    膜の表面及び基板界面からの反射光を分光解析する技術や独自のFFT解析手法による多層膜の膜厚解析技術により、1秒程度で膜厚、屈折係数が測定可能です。


    <紫外/近赤外対応>

    一般的な顕微鏡で確認できる可視領域だけでなく、紫外/近赤外領域に対応した特殊な顕微鏡は非常に高価なものですが、フィルメトリクスではオプションとして自社開発した紫外/近赤外領域対応の膜厚測定用顕微鏡ユニットを安価で提供しております。


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor