マーポス

Ohta-ku,  Tokyo 
Japan
http://www.marposs.co.jp
  • 小間番号2032


 出展製品

  • NCG 非接触式インプロセスコントローラ
    マーポスNCGは光干渉技術による厚さ測定器です。 連なる光の波がワークの接合面で反射し、戻された干渉により層の厚を計算し、計測します。この測定器はガラス、シリコンウェーハ、プラスチック等異なる材質の厚さを制御するように設計されており、赤外線の光源により透明以外の材質の測定も可能です。 ...

  • 測定原理                                                光干渉型

    測定範囲                                                 25 ~ 1200 μm

    (n=1.5 ガラス)

    測定範囲                                                 10 ~ 500 μm

    (n=3.7 シリコン)

    精度 (*)                                                  0.5 μm

    直線性                                                     < 0.1% (測定範囲内)

    繰返し精度                                               0.1 μm

    設置(取付)方法                                        パネルマウント

    測定チャンネル数                                     1測定

    インターフェース                                       イーサネット10/100

    電源電圧                                                 12 ~ 24 Vdc (+20% / -15%)

    消費電力                                                 50W

    (*) シリコンウェーハでの標準偏差

  • NCG Non contact gauge in-process controller
    NCG gauge is a thickness gauge based on interferometric technology: light wave trains which are reflected at the layer boundary of the object being measured are brought to interference and the layer thickness is then calculated....

  • TECHNOLOGY                                           Interferometric   

    MEASUREMENT RANGE             25 ÷ 1200 μm

    (n=1,5.for Glass parts )   

    MEASUREMENT RANGE             10 ÷ 500 μm

    (n=3.7 for Si wafer )        

    ACCURACY (*)                              0.5 μm  

    LINEARITY                                   < 0.1% (measuring range)            

    REPEATABILITY                           0.1 μm                              

    LAYOUT                                         Panel mounting                             

    CHANNELS                                    1 measure point               

    INTERFACE                                   Ethernet 10/100               

    POWER SUPPLY                            12 ÷ 24 Vdc (+20% / -15%)            

    POWER CONSUMPTION              50 W                                 

     (*) Standard Deviation on Si wafer


 追加情報

初出展/New Exhibitor
Yes
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor