マグネスケール

伊勢原市鈴川45,  神奈川県 
Japan
http://www.mgscale.com
  • 小間番号5435


高精度・高分解能レーザスケールの真空シリーズ

 世界最先端の分野で実績を積み上げたレーザスケールの真空シリーズを紹介いたします。

 厳選されたアウトガス対策部品や非磁性対策部品を使用したモデルの他に、ヘッド部の発熱を控えた光ファイバモデルをご覧いただけます。

 他には、レーザスケールの原理を用いた分解能2.1pmのZセンサは、測定長10mmのZ計測を実現しました。

 最大有効長600×500mmで自己校正により高精度を実現した2次元レーザスケール、ジッター0.2秒を実現する自己校正ロータリーエンコーダシステム、つなぎシステムにより最大有効長2,400mmの長尺BH25シリーズのレーザスケールなど、充実したラインナップをご覧いただけます。

 また、新開発のSmartSCALEは、小型ヘッドでIP65の防塵・防水規格を持つ50nm分解能の磁気スケールです。製造装置、搬送装置など様々なシーンで活用できます。動態デモで悪環境での動作をご確認できます。


 出展製品

  • 真空対応レーザスケール
    真空非磁性に対応した最強ラインナップのBS78シリーズ; 真空対応に対応し低ドリフト化を達成させたBH25シリーズ ; 真空非磁性に対応した低ノイズと高速に対応させたBL57シリーズ 真空非磁性に対応したレーザスケールの中でも最も広い取付け許容を持ったBF1シリーズ 。...

  • BS78シリーズ
    真空非磁性に対応した最強ラインナップ。
    2.1pmの分解能と±3pm(LPF130Hz)の低ノイズを達成(インタポレータBD300と組合せ時)。 

    BH25シリーズ
    真空対応に対応し低ドリフト化を達成させたシリーズです。

    3.8pmの分解能(インタポレータBD300と組合せ時)を実現しながら、0.3nm/℃の優れた環境温度依存性を持つことで、長期的に低ドリフトな計測を可能にしています。

    BL57シリーズ
    真空非磁性に対応した低ノイズと高速に対応させたシリーズです。

    100pmの分解能を持ちながら3m/sの最高スピードを実現しています。

    BF1シリーズ
    真空非磁性に対応したレーザスケールの中でも最も広い取付け許容を持ったシリーズです。

     実績を積み上げたレーザスケールの真空シリーズは、真空に加え非磁性にも対応できます。
     ヘッド部の発熱を控えた光ファイバタイプや真空隔壁のフィードスルーなども取り揃えており、さまざまな用途にお応えします。

  • 豊富なスケールラインアップ
    BS78シリーズ 最大有効長600mmの高精度ホログラフィックスケールを追加しました。 BH25シリーズ つなぎシステムで有効長2400mmを実現しました。 標準システム:最大有効長1400mm(石英ガラススケール)を追加しました。           最大有効長600mm(ゼロ膨張ガラススケール) を追加しました。...

  •  BS78シリーズは、最大有効長600mmの高精度ホログラフィックスケールを追加しました。

     マグネスケール独自の露光装置の大口径化に成功し、最大600mmの領域において良好なリニアリティを持つホログラフィックスケールを実現しています。

     BH25シリーズは、2つのヘッドと専用インターポレータBD96を使用したマグネスケール独自のつなぎシステムで、2400mmの有効長を実現しており、全領域にわたって高い分解能とリニアリティを実現しています。つなぎではない標準のシステムでも、最大有効長1400mmの石英ガラススケールと、最大有効600mmのゼロ膨張ガラススケールをラインナップしました。

  • Zセンサ
    分解能2.1pmで測定長10mmのZ計測を可能にしました。 ナノメートル以下のZ計測や振動計測の他、制御用途に最適。 小型真空対応ヘッドも用意いたしました。...

  • レーザスケールのZセンサは、二次元スケールを併用して分解能2.1pmのZ計測を可能にしました。
    独自の格子干渉方式は、信号のS/Nが非常に高く、ベアウエハを±10pm(LPF150Hz)のノイズで計測が可能です。
    いままでの干渉計で見ることができなかった、ナノメートル以下のz計測や振動計測を要求するお客様に最適です。
  • 2次元スケール
    最大有効長:600×500mm 全領域で±0.5μmの精度。 リニアリティーの自己校正により、スケールの区間補正が不要。 汚れや不慮の接触に強いカバーガラス構造。...

  • 最大有効長600×500mmの2次元のレーザスケールを商品化しました。

    ヘッドには、定評あるBH25を4台使用し、各ヘッドの位置情報から瞬時に2Dスケールの絶対座標を求めることが可能です。

    この情報をもとに、スケールのリニアリティーの自己校正をかけるため、お客様で行っておりました、スケールの区間補正が不要になりました。

    精度は、全領域で±0.5μmを達成しております。

    マグネスケールの2次元レーザスケールには、カバーガラスによって表面が保護されているため、汚れや不慮の接触にも強く、取り扱いが容易です。

  • SmartSCALE
    高信頼性:過酷な環境でさらに強く! 省エネ貢献:エアパージ不要の高精度・高分解能スケール 長尺対応:6m...

  • スケールの特徴

    ・広いクリアランスと許容範囲

    スケールヘッド間距離は従来のスケールの2倍。変動許容範囲は従来マグネスケールの約5倍。

    ・分離型のシンプル構造

    ベアリングレス、小型化による省スペース化を実現することにより、加工物や測定物の近くへの取付が可能になり、1軸に複数の設置も容易に。

    ・5nmの高分解能(アブソリュートタイプ)

    新開発のアルゴリズムを採用し、高機能演算処理回路を見直すことで、このクラス最高の5nmの高分解能を実現。

    ・IP67(アブソリュートタイプ)、IP65(インクリメントタイプ)の密閉構造

    磁気式スケールと検出デバイスの表面に50μmの厚さの金属カバーをレーザ溶接することで完全防護。

    クーラントや水の飛散、スラッジ切粉に対してより強靭になったことで、厳しい環境でもエアパージ不要の安定した動作を実現。

    ・長尺6m ABSスケール ラインアップ追加


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor