• 小間番号3205

遠隔保守、装置オンライン、装置制御システムにご興味をお持ちの方は是非、みずほ情報総研ブース(3205)にお立ち寄り下さい

みずほ情報総研は、半導体・液晶分野における20年以上の工場自動化、装置自動化の業務経験にもとづく半導体装置制御ソリューション、装置通信ソリューションなど、半導体装置の制御を対象としたITソリューションを展示いたします。

今回はThe PEER Group 社と共同出展し、IoTやIndustrie4.0をにらみ、工場内で稼働している半導体装置を遠隔地からWEB経由にてセキュアなクラウドベースでの 遠隔保守 、監視や メンテナンス 、保守 が リモート で可能となる新ソリューション、Remicus™を出展いたします。

半導体製造装置の保守コスト削減やタイムリーな装置保守によるCS向上を目指す装置サプライヤー様、また自社工場に導入された装置の一括 遠隔保守 、監視ソリューションをお探しのICメーカ様にぜひご覧いただきたいソリューションです。

当ブースでは上記のほか、以下の装置制御・装置通信ソリューションも展示いたします。 

  • PTO:装置機器の自動制御とオンライン機能の融合装置構成機器の自動制御と、オンライン機能のプラグインで開発期間を短縮し装置の安定稼働に寄与するソリューションです。
  • EIB:HSMS、SECS、GEM、GEM300、InterfaceA対応 装置組込型の通信接続・装置オンラインソフトウェアです。
  • PFAT:PFAT: 200mm/300mm向けSEMI規格群の標準的なシナリオのテストや、工場固有のオンラインシナリオの適合性テスト、装置内部の動作を総合的に評価できるテストソフトウェアです。

従来のConX300、GWGEM、SDR、PFAT、SECSIM Pro+を展示いたします。

 


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor