明電舎

品川区,  東京都 
Japan
http://www.meidensha.co.jp
  • 小間番号4913

明電舎ブースへようこそ!半導体製造ラインを支える技術、製品、ソリューション展示を揃え、皆様のご来場をお待ちしております。

半導体製造ラインの安定稼働、精度向上、予防保全を目的とした製品、ソリューションを展示致します。

【制御・情報ソリューション】
・デバイスメーカ向け装置データ収集システム

・ITインフラ構築用パッケージソフトウェア

・装置メーカ向けの装置制御ソリューション、

・ホスト通信/EES関連パッケージソフトウェア、制御用ハードウェア

【真空コンデンサ】
・高周波(RF)電力の制御に最適な真空可変・固定コンデンサ、モータ付真空コンデンサ


【ピュアオゾンジェネレータ】
・ピュアオゾンでしかできない斬新なドライ洗浄と表面改質技術