リオン

国分寺市東元町,  東京都 
Japan
http://www.rion.co.jp/product/particle/
  • 小間番号4509

リオンブースへようこそ!

半導体市場における清浄度管理のスタンダードである液中パーティクルカウンターKSシリーズおよび最新商品を展示し、液体中の清浄度管理をトータルサポート致します。展示では、薬液中(フッ酸含む)の30nmを測定するKS-19F、フォトレジスト溶液中の0.1μmの粒子を測定可能なKS-41B、超純水インライン測定用のKL-30B(新製品)、HDD品質管理用液中パーティクルセンサKS-42B改(新製品)をご紹介します。空気中粒子については、ハンディタイプから大流量のポンプを採用した製品をご紹介します。是非弊社ブースにお越し頂き実機をご覧ください。