立命館大学 谷/鈴木研究室

Kusatsu-shi,  Shiga 
Japan
http://www.ritsumei.ac.jp/research/
  • 小間番号1309

M/NEMSの研究開発を推進。マイクロプロセス、さらに集積化技術を応用して通信機能を備えたデバイスの研究を行っています。

(谷研究室)

本研究室では、機械加工に使用される様々な加工工具や加工技術を開発しています。電着ダイヤモンドワイヤ工具の製造技術、電着ダイヤモンドワイヤ工具に使用される導電性ダイヤモンド砥粒、複合粒子研磨技術、各種の研磨工具等々があります。

ここでは、粗研磨工程に使用される高機能ラップ工具と、鏡面研磨用のエポキシ樹脂研磨パッドを紹介します。金属短繊維を樹脂により固着させた低コスト・高性能の金属繊維ラップ工具を開発しました。従来から使用されてきた鋳鉄ラップに比べ、ラップ工具表面に微細な凹凸をもつため砥粒の滞留性が大幅に改善できたため研磨能率が高いことが確認されています。さらに、その微細な凹凸が常に工具の表面に維持されることでドレッシング作業が不要で、工具摩耗により研磨特性の低下がありません。また、開発した多孔質エポキシ樹脂研磨パッド(九重電気株式会社より販売中)は水系スラリーの濡れ性が良く通常のウレタン樹脂研磨パッドに比べ仕上げ面粗さが同等でありながら研磨能率を2倍以上に向上できます。

LCDLED、パワーデバイスなどの基板材料の粗研磨から鏡面研磨まで使用する高性能研磨工具を提供します。研磨工程の時間が大幅に短縮されるだけでなく、高い研磨速度、低い砥粒濃度等の過酷な研磨条件の場合、開発した研磨工具の威力が更に発揮できます。

 

(鈴木研究室)
従来の小型アクチュエータは圧電材料等の機能薄膜を利用したものが主流でした。近年、シリコン材料のみからなる微小電気機械システム(MEMS)という分野が急速に発展し、いままで不可能と考えられてきたことを次々と現実のものとするという技術革新に成功してきました。しかし、このMEMS技術の課題は狭い空間ギャップを必要とすることです。この狭い空間ギャップがデバイス作成の困難さに加えて信頼性の劣化という深刻な問題を引き起こしてきました。
我々はこの空間ギャップを必要としない新規のMEMSアクチュエータの開発と実証に成功しました。そのアイデアは空乏層を利用するというものであり、大きな発想の転換が必要でした。原理的にはこのアイデアを理解できてもこれで機械構造体が動作するということを信じられないという人がたくさんいます。このため、実際にデバイスを作製して機械動作が可能であることを実証することが必要です。今回、我々はこの新しいアイデアが実際に役に立つものであることを実証することに成功しました。
ひとたびこの成果を見ると、ここで提案されたアイデアは常識となっていくと思います。今、私たちは技術史の変換点にいることをこの出展から感じていただければ光栄です。

 

 

 


 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
No
製品展示/Displaying Equipment
No
デモンストレーション/ Product Demonstrations
No
産業・技術分野/ Industries/Technologies
MEMS