レーザーテック

横浜市港北区新横浜,  神奈川県 
Japan
http://www.Lasertec.co.jp
  • 小間番号5037


レーザーテックは最先端の半導体製造プロセスに不可欠な高精度の検査・測定装置をご提供しています。

最新のマスクブランクス欠陥検査装置、リソグラフィプロセス検査装置、ウェハエッジ検査装置など各種検査測定装置をご紹介します。

また、ハイブリッド・レーザーマイクロスコープのデモを行い、オフライン用途での管理・改善ソリューションをご提案いたします。

検査・計測に関する新規案件も承っておりますので、ぜひ当社ブースへお立ち寄りください。

 


 出展製品

  • マスクブランクス欠陥検査装置 M8350/M8351
    New 設計ルール10nm以降の最先端半導体フォトマスク用マスクブランクス欠陥検査装置...

  • 【特長】

    次世代高品質マスクブランクス検査に有効な高検出感度と、量産工場での出荷・受入検査に適した高スループットを両立した最新鋭欠陥検査装置

    【用途】

    • Qzサブストレート、Cr膜、MoSi膜、ハーフトーン膜、EUVマスクブランク(マルチレイヤー層、アブゾーバー層)、レジスト塗布済みマスクブランクスの欠陥検査
    • 欠陥レビュー

     

  • New リソグラフィプロセス検査装置 LX530
    最先端デバイスの高感度CDU検査...

  • 【特長】

    • 高S/N撮像信号により高感度CD測定実現
    • 高速撮像のためウェハ全面測定が可能
    • 下地パターンの影響をキャンセルできる独自の光学系
    • 業界初のCDU検査・分類機能搭載

    【用途】

    • リソグラフィ工程におけるウェハ面内・ショット内・チップ内のCD分布管理
    • エッチング工程におけるウェハ面内・ショット内・チップ内のCD分布管理
    • ウェハ外周部CDのSPC管理
  • ウェハエッジ検査装置 EZ300
    ウェハ外周部の歩留定量管理とプロセス異常の解析用途に...

  • 【特長】
    • コンフォーカル光学系による高コントラスト画像を用いた欠陥検査
    • 独自のアルゴリズムによる凹凸判定を含めた自動欠陥分類
    • 欠陥種の特定・推測が容易となる、高解像度3D測定機能

    【用途】

    • インラインQCによるウェハ外周部の定量管理及び異常プロセス発生時の早期アラーム
    • SPC(Statistical Process Control)によるウェハ外周部の不良チップ発生時の後追い解析
    • ウェハ外周部の欠陥による、歩留まり悪化原因の把握・解析

     

  • TSV裏面研磨プロセス測定装置 BGM300
    TSV裏面研磨プロセスでのSi厚さ、TSV深さ、Remaining Si厚さ測定装置...

  • 【特長】

    • 独自の干渉計とIR光学系の組み合わせを採用し、Via部の測定を実現
    • 裏面研磨プロセスの研削前後両方において使用可能
    • TSV裏面研磨プロセスに最適なSolutionを提供

    【用途】

    • TSV裏面研磨プロセス前のSi厚さ/TSV深さの測定
    • TSV裏面研磨プロセス後のRemaining Si厚さ(RST)の測定
    • 貼り合せウェハの接着層厚さ異常の把握
    • BSIイメージセンサウェハの裏面薄化時のシリコン厚さ測定
  • SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA88
    表面検査およびフォトルミネッセンス(PL)検査の両方を備えた検査装置...

  • 【特長】

    • 表面欠陥と同時にエピ膜付きウェハ内部の基底面内転位(BPD)、積層欠陥(SF)など結晶欠陥を高感度に検出
    • 欠陥の高解像度レビュー画像の取得と同時に高精度自動欠陥分類(ADC)によって、各種欠陥を詳細分類。高解像度の欠陥画像を取得できるため、顕微鏡での再観察不要
    • φ6インチウェハ全面検査で20枚/時間(ハイスループットモード)。量産対応が可能な高スループットを実現

    【用途】

    • SiCウェハ、エピウェハの出荷・受入検査
    • SiCエピタキシャル成長プロセスの管理
    • SiC研磨プロセスの管理
    • SiCデバイス製造プロセスの管理

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
パワー半導体/Power Semiconductors, 半導体/Semiconductor