ローツェ

福山市神辺町道上,  広島県 
Japan
http://www.rorze.com
  • 小間番号4308


通常製品及び半導体中工程に使用可能なパネル搬送ロボット展示します。東証一部に上場した弊社ブースに是非足をお運びください。

ローツェ株式会社は自動化・モーションコントロールのベース部分となる、モータドライバ・コントローラから、ロボット、ロードポート(LP)、アライナ等の自動化単体モジュール、それらを使用したEFEM、ウエハソータ、真空プラットフォーム等の装置に加え、工場HOSTとの通信含めた全てのソフトウェアまで、グループ企業内で全て開発・製造している垂直統合メーカです。 

弊社は本年8月に東京証券取引所市場第一部銘柄へ指定替えいたしました。これもひとえに、お取引先の皆様、株主の皆様をはじめとする多くの関係者の皆様方の温かいご支援の賜物と心より感謝申し上げます。今後も皆様方のご期待にお応えできるよう、次世代の半導体自動化ソリューションをサポートさせて頂く所存でおりますので、引き続き変わらぬご支援を賜りますようお願い申し上げます。

これまで創業以来30余年の間半導体製造装置メーカ殿向けに提供し続けてきたソリューションだけでなく、近年はエンドユーザ殿向けのウエハソータ、ベアウェハストッカ、パージ(N2,XCDA)対応モニターウェハストッカ、ALP(FOUP移載補助装置)等のFAB向けの自動化ソリューションも提供させて頂き、ウルトラクリーン性能及び高い製品信頼性により世界各国のエンドユーザ殿からサプライヤー賞頂き、高い評価受けております。

本年はエンドユーザからの窒素パージの要望に対応する為、ボトムパージタイプLP、ローツェのオリジナルのシャッタドアを利用したフロントパージ式シャッタタイプLP(特許出願中)を搭載したローツェ新型「ACE EFEM」を紹介させて頂きます。このACE EFEMは、ローツェの新型コントローラRC500シリーズで制御される様々な種類の自動化単体モジュール製品で構成されています。

また通常の半導体前工程用だけでなく、中工程と呼ばれるファンアウト工程にも対応可能なパネル搬送ロボットを展示させて頂きます。ロングリーチの半導体ロボットをベースに小フットプリントでコンパクトなパネルの搬送を実現しています。

ローツェの装置メーカ様向けソリューションの骨格となる真空プラットフォームも、シームレスに安定してかつ導入し易い制御を提供する米国Cimetrix社製品のCIM Control Framework(TM)をベースとした装置制御ソフトウェアと共にトータルソリューションを提供します。ローツェ独自開発の真空チャンバ表面処理技術RM処理もデータ展示します。ローツェ独自の真空チャンバの表面仕上げ、表面処理により、低アウトガス、低パーティクル、短時間真空ポンピング時間を達成します。

 


 出展製品

  • パージ対応ロードポート RV301 (シャッタタイプ)
    LPのFIMS面にパージ専用ノズルを設け、FOUPドアが開いた状態でFOUP内に窒素をパージします。LPのミニエン側に25段のシャッターを設けることで、ミニエン内の気流がFOUP内に侵入する事を防ぎ、FOUP内を低酸素/低湿度状態に保ちます。...

  • LPのFIMS面にパージ専用ノズルを設け、FOUPドアが開いた状態でFOUP内に窒素をパージします。LPのミニエン側に25段のシャッターを設けることで、ミニエン内の気流がFOUP内に侵入する事を防ぎ、FOUP内を低酸素/低湿度状態に保ちます。ロボットがウエハアクセスするスロットのみシャッター開閉する事で開口面積を最小にし、FOUP内の酸素濃度、湿度の変化を最小限にします。LPの取付規格(SEMI E63 BOLTS-M)に準拠しており、パーマネント・リザーブド・スペース:100mm以下を実現する薄型設計により既存装置にも、そのまま載せ替え可能です。
  • パージ対応ロードポート RV201 (ボトムパージ)
    独自の上下機構ノズルを搭載しており、FOUPの傾きのバラツキを補正し、ガスリーク問題を大幅に改善いたしました。マスフローコントローラを内蔵しており、上位から流量コントロールが可能です。オプションにより湿度センサを搭載可能することが可能です。低圧力損失ガスフィルタを内蔵しており、クリーンな窒素を供給します。...

  • 独自の上下機構ノズルを搭載しており、FOUPの傾きのバラツキを補正し、ガスリーク問題を大幅に改善いたしました。マスフローコントローラを内蔵しており、上位から流量コントロールが可能です。オプションにより湿度センサを搭載可能することが可能です。低圧力損失ガスフィルタを内蔵しており、クリーンな窒素を供給します。
  • パネル搬送ロボット RR759
    より小さい最小旋回にも関わらず、長いロボットアームリーチを持ち、かつより低いパスラインでより長いZ軸ストローク持つロボットです。従来の「コ」の字リンクが不要の為、高剛性、高加重達成出来、ガラスのような重量物の搬送に最適なロボットです。...

  • より小さい最小旋回にも関わらず、長いロボットアームリーチを持ち、かつより低いパスラインでより長いZ軸ストローク持つロボットです。従来の「コ」の字リンクが不要の為、高剛性、高加重達成出来、ガラスのような重量物の搬送に最適なロボットです。
  • ハイスループット真空ロボット RR581
    高速ウエハ入れ替え動作が可能な、ハイスループットWアーム真空ロボットです。低中真空から高真空まで対応しており、コンパクトな構造により、チャンバ容積の小型化に貢献し、クリーンな搬送を実現します。...

  • 高速ウエハ入れ替え動作が可能な、ハイスループットWアーム真空ロボットです。低中真空から高真空まで対応しており、コンパクトな構造により、チャンバ容積の小型化に貢献し、クリーンな搬送を実現します。

 追加情報

初出展/New Exhibitor
No
新製品/New Products
Yes
製品展示/Displaying Equipment
Yes
デモンストレーション/ Product Demonstrations
Yes
産業・技術分野/ Industries/Technologies
半導体/Semiconductor