文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム

つくば市,  茨城県 
Japan
http://nanonet.mext.go.jp/
  • 小間番号3528

最先端の微細加工装置、分析・解析機器が自在に利用できる! デバイス・MEMSからIoTまで、あなたの研究開発を支援します!

 

概要
ナノテクノロジープラットフォームは文科省の委託事業であり、装置とエキスパートの全国ネットワークです。 この事業を通じ、全国26ヶ所の大学・研究機関が所有する最新の研究設備を、広く一般の研究者・技術者の方が利用することができます。
利用可能な装置は、各種電子顕微鏡、表面処理装置、分光装置など、1,000台以上に及びます。
各機関の熟練したエキスパートが、三つの技術領域(微細構造解析、微細加工、分子・物質合成)において、最先端設備と共に高度な技術支援を提供します。
展示ブースでは、事業の概要や、最近の利用事例とその成果を展示します。 また、利用相談にも応じます。
利用したい装置がある方、研究に課題をお持ちの方は是非お立ち寄りください。

 

利用可能な装置の例
透過電子顕微鏡
超高圧透過電子顕微鏡,電界放出型透過電子顕微鏡,収差補正透過電子顕微鏡,分析電子顕微鏡, ローレンツ電子顕微鏡,クライオ電子顕微鏡
走査電子顕微鏡
電界放出型走査電子顕微鏡,スピン偏極走査電子顕微鏡,低真空走査電子顕微鏡,電子線マイクロアナライザ,カソードルミネッセンス
走査型プローブ顕微鏡
走査型トンネル顕微鏡,原子間力顕微鏡,環境制御走査型プローブ顕微鏡,スピン偏極走査型トンネル顕微鏡,
特殊プローブ顕微鏡
陽電子プローブマイクアナライザ,走査型イオン顕微鏡,三次元マルチスケール解析,光電子顕微鏡
試料作製装置
イオンミリング,集束イオンビーム(FIB),試料作製装置群,表面分析装置,オージェ電子分光(AES),X線光電子分光(XPS),二次イオン質量分析(SIMS),エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS),電子スピン共鳴(ESR),電子エネルギー損失分光(EELS),X線回折(XRD)
バルク分析装置
核磁気共鳴法(NMR),電子スピン共鳴法(ESR),X線回折法(XRD),電気・磁気特性測定,光学特性測定装置,質量分析(MS),元素・組成分析
放射光計測装置
X線吸収微細構造(XAFS),X線回折法(XRD),X線光電子分光法(XPS),共鳴X線非弾性散乱(RIXS),軟X線磁気円二色性測定(XMCD)
微細加工関係
マスクアライナ,ステッパ,マスクレス、直接描画,電子線描画(EB),ナノインプリント(NIL),液滴吐出型描画装置,レジスト塗布・現像装置,蒸着(抵抗加熱、電子線),スパッタリング,CVD(化学気相成長)、有機膜,MBE(分子線エピタキシー),原子層堆積(ALD),めっき,光三次元造形,ドライエッチング(RIE、ECR),ウエット/ガスエッチング、洗浄,アッシング・キュア,集束イオンビーム加工,レーザー加工,CNT・グラフェン成長,酸化、拡散、イオン注入,熱処理、レーザーアニール,サンドブラスト,プラズマ,接合・貼り付け・ダイボンダ,ダイシング、スクライバ,MP(化学機械研磨)
形状・形態観察、分析
走査電子顕微鏡(SEM),透過電子顕微鏡(TEM),走査プローブ顕微鏡(SPM),分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線),光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ),環境試験機・高真空評価,膜厚・段差・粗さ測定,試料作製装置(TEM)
電気計測
電子材料・デバイス評価,太陽電池評価,ワイアボンダ
機械計測
振動・変形測定,粒子測定
シミュレーション CAD
デバイスシミュレータ,プロセスシミュレータ,CAD
表面分析装置

走査型電子顕微鏡,電子分光(XPS/UPS/AES)
X 線回折
単結晶 X 線構造解析,粉末・薄膜 X 線回折(XRD),物性測定,電子スピン共鳴装置(ESR),粘弾性測定,力学特性測定装置,物理特性測定装置
核磁気共鳴装置(NMR)
800 MHz 以上,300~500MHz,固体NMR
分光
紫外可視近赤外分光,赤外分光,蛍光分光,ラマン分光,ICP 発光分光,円二色性分光,薄膜用紫外〜赤外反射
質量分析
MALDI-MS,ESI-MS,CSI-MS,LC-MS,SIMS
クロマト装置
ガスクロマトグラフィ,高速液体クロマトグラフィ(HPLC),ゲル浸透クロマトグラフィ,液体クロマトグラフィ(FPLC,GPC)
その他材料評価
動的光散乱,絶対分子量測定,熱測定,ゼータ電位計,パーティクルサイズアナライザー,元素分析,走査型透過軟 X 線顕微鏡(STXM),太陽電池評価システム,高分子計測装置群,膜厚測定装置(エリプソメーター)
光学顕微鏡
蛍光、位相差、微分干渉顕微鏡,共焦点レーザー顕微鏡、全反射顕微鏡,超高解像顕微鏡,実体顕微鏡
バイオ装置
リアルタイムPCR,DNA シーケンサ,レーザースキャナー,表面プラズモン解析装置,チップ電気泳動,細胞探索マルチアナライザー群, 遠心分離機
ものづくり・合成支援
薄膜作製支援,ナノ材料・カーボン材料作製支援,分子合成支援,バイオ材料合成・作製支援,量子計算・シミュレーション支援

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